产品概述
ZSY真尚有科技ZLDS202光电传感器是一款基于激光轮廓扫描技术的高精度倾角传感器，专为半导体硅锭角度测量设计。该传感器采用蓝光激光技术，具备高分辨率、高速扫描能力，适用于高反射、高温、高振动等复杂工业环境。其测量精度可达0.001°（约3.6角秒），扫描频率高达16000Hz，能够实现硅锭基准面倾斜度、旋转角度等微小变化的实时在线检测。
核心特点/优势
- 高角度测量精度，满足亚角秒级检测需求
- 蓝光激光技术适应高反射硅锭表面，信号稳定性强
- 扫描频率高达16000Hz，支持高速在线检测
- 支持多传感器同步，提升测量完整性与准确性
- 具备IP65防护等级，适应粉尘、振动等恶劣环境
- 结构紧凑，易于集成至自动化生产线
应用领域
- 半导体硅锭角度与轮廓在线检测
- 晶圆切割前的高精度定位
- 工业机器人视觉引导与焊缝跟踪
- 机械加工中心工件轮廓测量
- 自动化生产线质量控制
选型指南/使用建议
推荐选用蓝光激光版本以适应高反射硅锭表面，确保测量稳定性。建议在高温、高振动环境下配置减震支架与温度控制系统。设备应具备以太网或高速串口接口，支持多传感器同步采集。安装时需注意遮挡环境杂光，建议采用密封结构以防止粉尘干扰。适用于IP65防护等级的工业环境。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 分辨率 | 0.01%满量程 |
| 扫描频率 | 16000Hz |
| 抗振动能力 | 20g以上 |
| 数据同步能力 | 支持多传感器同步 |
| 测量范围 | 几毫米至1米以上 |
| 激光波长 | 450nm（蓝光） |
| 角度测量精度 | 0.001°（约3.6角秒） |
| 防护等级 | IP65 |
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