产品概述

在现代工业领域，微位移测量是确保设备精度与可靠性的关键环节，尤其在精密工程、半导体制造和光学元件的加工中，压电微位移测量技术的应用尤为重要。英国真尚有科技推出的ZSY-ZNXSensor光电传感器，是一款基于电容原理的高精度位移测量设备，具备超高分辨率、卓越的温度稳定性以及灵活的应用性。

核心特点/优势

• 超高分辨率，最低可达0.1纳米，确保在微小位移变化下也能提供精准反馈。
• 测量范围广泛，支持从±5微米至2毫米的短距离非接触式测量。
• 采用超殷钢材料，热膨胀系数低至0.31 ppm/K，有效减少温度变化引起的测量误差。
• 探头驱动电路采用专利PhaseLock™技术，显著提升未接地目标和厚度测量的精度。
• 提供多种滤波器频率选项（10 Hz、100 Hz、1 kHz、10 kHz），用户可根据实际需求选择最优分辨率。
• 支持小批量、低成本定制，满足特殊应用需求。

应用领域

• 精密工程中对微小位移的高精度测量。
• 半导体制造中对晶圆、芯片等微结构的非接触测量。
• 光学元件加工中对镜片、透镜等高精度表面的位移检测。

选型指南/使用建议

建议根据实际测量范围和分辨率需求选择合适的传感器型号。在温度波动较大的环境中，建议优先选择热膨胀系数低的型号以确保测量稳定性。使用时应避免强电磁干扰，并确保测量目标表面清洁、无反光干扰。支持多种滤波器频率选项，可根据测量对象的动态特性进行优化配置。

技术参数