产品概述
TH510系列是专用于半导体器件电容-电压（C-V）特性测试的高精度分析仪，具备多参数测量、高速扫描及多通道扩展能力，适用于功率器件、集成电路等半导体元件的研发与质量控制。该设备采用一体化设计，集成LCR测试、高压源与通道切换功能，兼顾测试效率与测量精度。
核心特点/优势
- 双CPU架构，LCR测试速度达0.56ms/次（1800次/秒），支持快速导通测试（Cont）。
- 支持多参数同步测量，包括Ciss、Coss、Crss、Rg等寄生参数。
- 标配2通道，可扩展至6通道，支持双芯片并行测试。
- 测试模式多样，支持点测、列表扫描（最多1001点）及图形扫描（选件）。
- 电压范围宽，VGS为±40V，VDS支持200V/1500V/3000V可选。
- 频率覆盖范围1kHz-2MHz，分辨率达0.01%。
- 测量精度高，电容分辨率达0.00001pF。
- 支持开路/短路/负载校准，具备10档分选（Bin）及PASS/FAIL指示。
- 内置100M存储空间，支持USB外接存储设定文件、图形及记录。
应用领域
- 器件测试：MOSFET、IGBT、二极管等寄生电容及C-V特性分析。
- 材料研究：晶圆、液晶材料的介电常数与弹性常数测量。
- 工艺优化：通过C-V曲线评估半导体掺杂浓度与界面态密度。
选型指南/使用建议
建议根据测试器件的电压等级选择VDS配置（200V/1500V/3000V）。设备支持多通道扩展，适用于批量测试需求。测试前需进行开路/短路/负载校准，确保测量精度。设备支持分档信号输出，适用于自动化测试系统。建议在常温常湿环境下使用，避免高温高湿环境影响测试稳定性。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 接口配置 | RS232/USB/LAN/HANDLER |
| 显示系统 | 10.1英寸触摸屏（1280×800），Linux操作系统 |
| 测试电压范围 | VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可选） |
| 测试速度 | 0.56ms/次（1800次/秒） |
| 电容分辨率 | 0.00001pF |
| 重量 | 16kg |
| 测量精度 | 0.1% |
| 尺寸 | 430×177×405mm |
| 测试频率范围 | 1kHz-2MHz |
| 存储容量 | 内部存储100M，支持USB外接存储 |
| 通道数 | 标配2通道，可扩展至6通道 |
| 功耗 | ≥130VA |
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