上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
| 型号 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | |
| 检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) | |||||
| 质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | |
| 四极杆直径／长度 | 6 / 125 mm | ||||||
| 最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | |
| 最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | |
| 对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | |
| 最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | ||||||
| 最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | |
| 对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | |
| 操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | ||||||
| 操作温度 电子 | 5 – 50 °C | ||||||
| 烘烤温度 分析 | 300 °C | ||||||
| 连接法兰 | DN 40 CF-F | ||||||
| 保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | ||||||
| 重量 | 2.5 kg | 3.2 kg | |||||
* 1 开放式离子源,
* 2 停留时间 4秒
*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频
