产品概述
Setra西特730系列真空电容式压力计是一款专为低真空测量设计的高精度传感器，适用于光伏、半导体和工业市场。该产品采用电容式膜片真空计（CDG）技术，具备±0.5%的读数精度和高分辨率，适用于对过程控制至关重要的应用。730系列使用全Inconel TM接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质，且采用直接测量设计，不受气体混合物成分的影响。
核心特点/优势
- 读数精度高，达±0.5%
- 采用张紧膜片设计，性能优异
- 工作温度补偿范围宽
- 回路噪声低，响应速度快
- 不易受环境条件变化影响
- 出色的抗过压设计
- 符合CE和RoHS规范
- 全Inconel TM材料设计，耐腐蚀性强
应用领域
- 半导体处理室
- 石化
- 等离子体器
- 真空装
选型指南/使用建议
用户在定货前需注明终用户，并经过美国方面审批后方可订货。建议客户一次购买时多买一个作为备件，因审批时间和订货周期较长。产品型号包括730G020TAN22CT1K、730G10CTAD42CD9A、730G010TAD42CD9A等。填写虚假用户信息将承担相应责任。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量精度 | ±0.5% |
| 测量压力类型 | 绝压;真空压 |
| 抗过压能力 | 出色 |
| 输出信号 | 模拟电压 |
| 响应速度 | 快 |
| 符合标准 | CE, RoHS |
| 材料 | Inconel TM |
| 真空度范围 | 0-1000torr |
| 工作温度补偿范围 | 宽 |
温馨提示
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