产品概述
Setra Model 760 是一款高精度真空传感器，专为精确、可重复的真空测量而设计。其满量程范围从10 Torr 到1000 Torr，支持多种测量单位，包括Torr、mbar/hpa、kPa 和 psia。该传感器采用Setra专利技术的可变电容传感原理，具有与气体成分无关的线性输出特性。Model 760 适用于腐蚀性气体测量，采用Inconel®材质湿部件，具备出色的热稳定性和EMI/RFI性能。
核心特点/优势
- 高精度测量：标准精度为 ±0.25% of Reading，可选 ±0.15% of Reading
- 多种输出信号选择：0~10 VDC 或 0~5 VDC
- 多种电气连接方式：15针D型插座 或 6位螺纹接线端子
- 耐腐蚀设计：Inconel®材质适用于腐蚀性气体
- 出色的EMI/RFI性能：金属外壳、ESD抑制元件和RFI过滤技术
- 热稳定性优异：适用于宽温度范围
- 零点和量程调节：多匝电位计，调节方便
- 符合CE标准
应用领域
- 半导体过程工具和设备
- 实验室和研究开发
- 实验和测量
- 度量
- 分析化学系统
选型指南/使用建议
Model 760 提供多种量程、输出信号、电气连接和接头类型选择。例如，产品序列号 7601010TAN17CD2A 表示 Model 760，量程为10 Torr，ISO NW16 接头，输出为0~10 VDC，15针D型插座，精度为 ±0.25% of Reading。
使用时需注意工作电压为 ±15 VDC，工作温度范围为 0~+50℃，存储温度范围为 -50~+125℃。适用于与 Inconel® 或 Inconel/不锈钢相容的气体。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 材料 | Inconel®（适用于腐蚀性气体） |
| 工作温度 | 0~+50℃ |
| 壳体材质 | 铝合金 |
| EMI/RFI性能 | 出众 |
| 电气连接 | 15针D型插座 或 6位螺纹接线端子 |
| 耐压能力 | 45 psia |
| 输出信号 | 0~10 VDC 或 0~5 VDC |
| 功耗 | <0.5W (<15mA) |
| 重量 | 260克 (约9盎司) |
| 零点偏移 | ±0.005%FS/℃ |
| 工作电压 | ±15 VDC，调整范围 ±5% |
| 测量范围 | 0~10 Torr 至 0~1000 Torr，0~10 mbar/hpa 至 0~1000 mbar/hpa，0~2 psia 至 0~20 psia，0~2 kPa 至 0~100 kPa |
| 分辨率 | 0.01%FS（受输出噪声限制） |
| 满程偏移 | ±0.02% |
| 存储温度范围 | -50~+125℃ |
| 精度 | ±0.25% of Reading（标准），±0.15% of Reading（可选） |
| 响应时间 | <20 ms |
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