产品概述
Setra 西特 760 真空传感器是一款专为高精度、可重复的真空测量而设计的电容式压力传感器。该传感器基于 Setra 专利技术的可变电容传感原理，适用于多种压力范围，包括 10 Torr 到 1000 Torr。其输出信号为模拟电压（0~10VDC 或 0~5VDC），与压力呈线性关系，且不受气体成分影响。
760 真空传感器采用 Inconel® 材质，适用于腐蚀性气体测量，具备出色的热稳定性和 EMI/RFI 抗干扰性能。其紧凑的结构设计和多种连接方式（如 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板）使其适用于多种工业和科研场景。
核心特点/优势
- 高精度：标准精度为 ±0.25% of Reading，可选 ±0.15%。
- 多种压力单位支持：Torr、mbar/hpa、kpa、psia。
- 线性输出：输出信号与压力呈线性关系。
- 抗干扰能力强：具备出色的 EMI/RFI 性能。
- 耐腐蚀设计：采用 Inconel® 材质，适用于腐蚀性气体。
- 调节功能：配备多匝电位计，支持零点和量程调节。
应用领域
- 半导体过程工具和设备
- 实验室和研究开发
- 实验和测量
- 度量
- 分析化学系统
选型指南/使用建议
建议根据具体应用需求选择合适的压力范围和输出信号类型（0~10VDC 或 0~5VDC）。工作电压为 15VDC，需确保供电稳定。传感器支持多种连接方式，可根据现场安装条件选择 D 型插座或接线端子板。适用于腐蚀性气体环境时，应确保气体与 Inconel® 材质兼容。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量压力类型 | 绝压;真空压 |
| 外壳材质 | 金属外壳，Inconel® 材质 |
| 压力范围 | 0~10 Torr 至 0~1000 Torr, 0~10 mbar/hpa 至 0~1000 mbar/hpa, 0~2 psia 至 0~20 psia, 0~2 kpa 至 0~100 kpa |
| 工作电压 | 15VDC |
| 连接方式 | 工业标准 15 针 D 型插座 或 6 位接线端子板 |
| 精度 | ±0.25% of Reading（标准）, ±0.15%（可选） |
| EMI/RFI 性能 | 出众 |
| 输出范围 | 0~10VDC 或 0~5VDC |
| 调节功能 | 零点调节和量程调节的多匝电位计 |
| 输出信号 | 模拟电压 |
温馨提示
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