产品概述
OMRON F3M-S825-1 是一款专为半导体行业设计的高精度视觉传感器,主要用于检测8英寸半导体硅晶圆及透明晶圆。该传感器采用25通道红外LED光源,具备自动示教功能,能够适应不同材质(如硅晶圆、SiC晶圆及透明晶圆)的检测需求。其紧凑的设计和强大的自诊断功能使其成为半导体制造和自动化生产线中晶圆定位、缺陷检测及透明材料识别的理想选择。
核心特点/优势
- 高精度检测能力:25通道配置,光轴间距6.35 mm,光轴宽度1.5 mm,确保对微小晶圆特征的精准捕捉。
- 智能自动示教:支持最大灵敏度设置(适用于硅晶圆、SiC晶圆)和无目标对象示教(适用于透明晶圆),简化现场调试流程。
- 双重诊断功能:具备应答输出功能,可提示设置错误;自诊断功能可在光输入下降时发出警告,确保系统稳定运行。
- 快速响应:最大响应时间仅为10 ms,满足高速生产线的需求。
- 坚固耐用:具备优异的抗噪性(电源线路±480 V,静电±8 kV)和抗振动/冲击能力,适应恶劣工业环境。
应用领域
- 半导体晶圆制造与检测
- 透明晶圆及玻璃基板检测
- 工业自动化中的精密定位
- SiC晶圆检测
选型指南/使用建议
推荐配置:建议搭配隔离变压器构建电源系统,并确保电源FG和G端子接地,以消除开关噪声干扰。
安装注意事项:避免在阳光直射、高湿度冷凝、腐蚀性气体或强烈振动/冲击的环境中使用。安装时避免机械冲击,以防降低防水性能。
电气连接:严禁将电源线或高压线与该传感器线路置于同一导管中。供电电压不得超过24 VDC+10%。
清洁维护:请勿使用油漆稀释剂清洁传感器表面,以免损坏外壳。
包装内容:包含间隔件和说明书。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| Electrical Connection | Pre-wired cable (500 mm); IDC connector |
| Relative Humidity | 35 ~ 85%% |
| Number of Channels | 25 |
| Light Source | Infrared LED (940 nm) |
| Protection Rating | IP40 |
| 工作温度 | 0 ~ 40℃ |
| Switching Current | 20 mA |
| 存储温度 | -25 ~ 60℃ |
| Vibration Resistance | 10 ~ 55 Hz; 0.5 mm double amplitude |
| Shock Resistance | 300 m/s2 |
| Ambient Illumination | 1500 lx |
| Response Time | 10 ms |
| 电压 - 供电 | 24 Vdc |
| Supply Voltage Range | 10.8 ~ 26.4 Vdc |
| Current Consumption | 120 mA |
| Digital Output Configuration | NPN open collector; Dark-ON |
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