产品详细信息
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范，还需具备发热器控制电路。根据操作规范，还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上，因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。
注意：产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 工作温度 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
| 可重复性 | ±0.35% 读数;±1% 读数 |
| 补偿温度范围 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
| 系列名称 | AWM2000 |
| 响应时间 | 典型值 1 ms，最大 3 ms |
| 传感器电流 | 最大 0.6 mA |
| 调整点的输出电压 | 650 sccm 时，50.0 mV dc;在水中 2.0 时，20.0 mV dc;25 sccm 时，11.8 mV dc;100 sccm 时，30.0 mV dc |
| 整个温度范围内的零位 | ±0.20 mV dc |
| UNSPSC 代码 | 41111931 |
| 端口类型 | 直 |
| 电源电压 | 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc |
| UNSPSC 商品 | 41111931 流量传感器 |
| 存储温度 | -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F] |
| 信号调节 | 非放大式 (mV) |
| 重量 | 10.8 g |
| 输出温漂 | ±5% 读数 |
| 零位 | ±1 mV dc |
| 流量/压力范围 | ±30.0 sccm;±1000 sccm (1 SLPM);±10.0 mbar [4.0 H20];±200 sccm |
| 功耗 | 典型值 30 mW，最大 50 mW |
| 介质兼容性 | 仅干燥气体;氢气 |
| 共模压力 | 25 psi |
| 冲击 | 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes) |
