MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻，易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品，同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
轴数： 双轴
镜面直径：1mm
频率：快轴：25kHz；慢轴2.3kHz
光学扫描角度： 快轴：±15°；慢轴：±12°
镜面镀膜：金
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MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻，易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品，同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
轴数： 双轴
镜面直径：1mm
频率：快轴：25kHz；慢轴2.3kHz
光学扫描角度： 快轴：±15°；慢轴：±12°
镜面镀膜：金
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