简介

迷思科技发布了一种压阻式绝对压力传感器芯片，大小仅为0.4mm × 0.4mm，是目前全球最小尺寸、最低成本的绝压传感器芯片！相关研究人员利用体硅下薄膜TUB技术（thin-film under bulk-silicon technique）提升灵敏度、减小挠度、改善线性度，同时压力传感器芯片采用一种新型的无疤痕微创手术（MIS）制造而成，并且该工艺与标准IC代工厂的工艺兼容，因此可有效降低成本。因此采用这种高良率工艺每片6英寸晶圆可生产90000颗芯片，从而实现极低的芯片制造成本。

迷思科技该工艺的绝压传感器100-1500kpa全系列可定制，欢迎垂询！

特点

尺寸极小：400μm×400μm

全桥输出、无需外接电阻

精度高、稳定性好

低噪声、低功耗

典型压力范围：30~110 kPa

过载压力：300 kPa

灵敏度：0.6-0.7 mV/kPa/3.3V

非线性：0.1%

技术参数