简介
SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器，是西安思微传感科技有限公司自主开发的—款高精度MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器，因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点，被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。
传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。
SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器管壳为316L不锈钢材质，并采用激光焊接工艺，可与多种规格的压力接口和电气接口连接，用户可根据其具体应用需求进行选择。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 重复性 | ±0.01% FS |
| 产品类型 | 传感器 (Transducer) |
| 测量介质 | 气体 |
| 输出信号 | 频率;其它 |
| 精度 | ±0.01% FS |
| 压力类型 | 绝压 |
| 测量技术 | MEMS |
| 工作压力量程 | 0 to 140 kPa |
| 爆裂压力 | 490 kPa |
| 工作温度 | -55 to 85 C |
| 过载压力 | 420kPa |
| 最大压力 | 140kPa |
