TONI UHV将Renishaw的超紧凑、非接触式编码器系统带到超高真空应用中，为客户提供改进的运动控制。 TONI提供高达10 m/s的速度，结合Ti接口，线性和旋转应用的分辨率低至1 nm。TONiC系统安装快速简单，设置公差大，只需按下按钮即可进行校准。TONiC的动态信号处理提供了改进的信号稳定性，超低分项误差通常<±30 nm，以帮助实现卓越的运动控制性能。，RELM是一种由ZeroMet™（一种低膨胀镍/铁合金，具有20µm的节距）制成的spar标尺。它与细沥青玻璃秤相当，在1.5 m长的范围内，总精度（包括斜率和线性度）优于u00b11µm。ZeroMet的热膨胀系数约为0.6µm\/m\/°C，温度范围为0°C至30°C。系统设计师可以选择特制的胶带或机械夹，以满足安装要求。两种安装方法都允许独立的热膨胀到基板的热膨胀。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 工作温度 | 32 to 158 F (0.0 to 70 C) |
| 电气输出 | Voltage |
| 输出接口 | Serial |
| 测量技术 | Linear Encoder |
| 电气连接 | Mini connector (connects direct to TONiC interface) |
| 测量范围 | 0.7874 to 59.06 inch (20 to 1500 mm) |
| 分辨率 | 1.00E-6 to 0.0050 mm (3.94E-8 to 1.97E-4 inches) |
| 线性编码器速度 | 10000 mm/sec (23622 in/min) |
| 产品类别 | Linear Position Sensors |
| 电源要求 | DC Powered |
| 电气 | undefined |
| 规格 | undefined |
