SI-F系列光谱干涉位移计SI-F系列光谱干涉位移计专门用于厚度或位置测量或表面测绘的超高精度位移测量。当分辨率降到1nm时，SI系列甚至可以看到最小的缺陷或位置变化。光纤型传感器头直径小到2毫米，不发热，不受电磁噪音影响，最大限度地提高了灵活性。常用用途：u2022晶圆厚度、u2022玻璃厚度、u2022表面测绘、u2022级定位、u2022精密滚柱跳动、u2022翘曲度、平整度
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 接口 | Serial; Parallel |
| 测量范围 | 0.0020 to 0.0400 inch (0.0508 to 1.02 mm) |
| 电气 | undefined |
| 光学 | undefined |
| 接收器 | Other Receiver |
| 工作温度 | 32 to 185 F (0.0 to 85 C) |
| 产品类别 | Optical Triangulation Position Sensors |
| 规格 | undefined |
| 采样频率 | 5 kHz |
| 扫描区域 | Point or 1-Dimentional |
| 光源 | LED |
| 激光安全 | Class I; Class 1/1M |
| 输出 | Voltage; Current; Switched / Alarm |
