设备制造商正在寻找紧凑的解决方案，以监测或控制其系统中的气体流量或压力。以前，传统的质量流量和压力仪表及控制器需要1.5英寸的占地面积，如NeSSITM系统中规定的那样。由于采用了微固态技术（MEMS），Bronkhorst能够将封装尺寸减半至0.75英寸，从而实现超紧凑的流量和压力控制器。高内在质量，特点：，客户特定设计，基于IQ+流量u00ae系列微系统技术，Bronkhorst High Tech还提供了在紧凑的流形上组合功能模块的可能性。参见IQ+流量歧管解决方案，分析应用：，基于占地面积为0.75的超紧凑模块的分析应用示例如下：
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类型 | 传感元件 / 传感器 |
| 工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
| 压力类型 | 绝压;表压 |
| 精度 | 0.5000 ±% FS |
| 测量技术 | 半导体压阻 |
| 输出信号 | 模拟电压;模拟电流 |
| 工作压力量程 | 0.3000 to 15 psi (0.2111 to 10.56 m H2O) |
| 特征 | 带报警指示 |
| 测量介质 | 气体 |
| 产品类别 | Pressure Sensors |
