布朗霍斯特高科技公司的金属密封气体质量流量计和控制器以其独特的、专利的金属对金属密封结构和出色的密封性能为特点。此外，它们以高表面质量而著称，因此特别适合于满足半导体行业的要求以及其他高纯度气体的应用。质量流量计和控制器的基本块具有1/4端面密封阳螺纹（VCR）或下端口工艺连接，最低范围0.1…5百万/分钟。最高范围0.6。。。今天的仪器配备了数字pc板，提供高精度、卓越的温度稳定性和快速响应（稳定时间t98降至500毫秒）。最新的EL-FLOW®设计具有多气体/多范围功能，为（OEM）客户提供最佳灵活性和工艺效率。为了方便客户，Bronkhorst提供免费且易于使用的配置软件
特性
- 可重新密封的金属-金属外壳密封结构(无环)
- 用电解法抛光接触液体的部件
- 洁净室组装
- 多气体/多量程功能
- Analog and digital I/O, with optionally integrated interface to DeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus-RTU or FLOW-BUS
- 超稳定调零（不需要自动调零电路）
- 高精度、重复性好
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 特征 | Controller (optional feature); Recorder / Totalizer Functions |
| 流量性能范围 | undefined |
| 测量介质 | Gas |
| 显示 | Digital (optional feature) |
| 面板接口 | Computer Controllable |
| 质量流量 | 2.75E-7 to 0.1376 lbs/min (7.49E-9 to 0.0037 metric tons/hr) |
| 产品类别 | Gas Flow Meters |
| 测量技术 | Thermal |
| 接口选项 | Serial/Digital; Network/Fieldbus |
| 工作压力 | 0.0 to 14504 psi (0.0 to 10207 m H2O) |
| 电气输出 | Analog Current; Voltage |
| 产品标准 | RoHS |
| 介质温度 | 0 to 70 F (-18 to 21 C) |
| 终端配件 | Compression; In-line Threaded (optional feature) |
| 输出选项 | undefined |
| 过程工作条件 | undefined |
| 仪表类型 | Mass Flow Meter; Volumetric Flow Meter |
| 用户接口 | undefined |
| 气体体积流量 | 3.53E-6 to 1.77 SCFM (6.00E-6 to 3 m³/hr) |
| 安装 | In-line |
| 工作温度 | 14 to 122 F (-10 to 50 C) |
| 物理规格 | undefined |
