MicroTrak低流量质量流量计精确测量和控制科学家先前认为低到无法重复读数的气体微质量流量。，MicroTrak低流量质量流量计是专门为4 sccm（smlm）以下的流量范围设计的，最小可控制质量流量为0.1 sccm（smlm）。Micro-Trak是一种专门的仪器，适用于需要精确可靠的清洁气体（包括腐蚀性气体和有毒气体）的微质量流量控制的人。，在100型和101型的基础上增加了Compod-u2122可编程控制模块，并获得多点RS-485\/MODBUS RTU通信，大大简化了基本的流量控制装置并允许多个仪器联网。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 管道直径 | 0.12 to 0.25 inch (3.17 to 6.35 mm) |
| 显示 | Digital (optional feature) |
| 产品标准 | RoHS; WEEE Compliant |
| 特征 | Controller; Programmable |
| 过程工作条件 | undefined |
| 接口选项 | Serial/Digital; Network/Fieldbus; RS-232, RS-485 (optional), Profibus DP, Modbus, Foundation Fieldbus |
| 工作压力 | 500 psi (352 m H2O) |
| 安装 | In-line |
| 面板接口 | Digital Front Panel; Computer Controllable (optional feature) |
| 流量性能范围 | undefined |
| 测量介质 | Gas |
| 审核认证 | CE, CRN, ISO 9001 |
| 输出选项 | undefined |
| 仪表类型 | Mass Flow Meter; Volumetric Flow Meter |
| 物理规格 | undefined |
| 工作温度 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
| 介质温度 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
| 产品类别 | Gas Flow Meters |
| 测量技术 | Thermal |
| 用户接口 | undefined |
| 精度 | 1 ±% |
| 气体体积流量 | 2.82E-6 to 1.41E-4 SCFM (4.80E-6 to 2.40E-4 m³/hr) |
| 电气输出 | Current; Voltage |
| 终端配件 | Compression; In-line Threaded (optional feature); VCO® / VCR® (optional feature) |
