SFM5400质量流量计测量质量流量具有卓越的精度（误差小于1%），长期稳定性和重复性，并涵盖了令人印象深刻的宽动态测量范围。SFM5400由金属制成，高度可配置。它有多种流体连接和各种接口，可测量50 sccm到200 slm之间的最大流量。传感器信号在芯片上直接转换成数字、完全校准和温度补偿信号。多个气体校准可以存储在一个设备上。此外，流量计可以检查激活气体校准是否与实际存在的气体匹配。SFM5400的多功能性使其成为工业和医疗应用的理想解决方案。，SFM5400质量流量计的卓越性能是基于创新的CMOSens®技术，该技术将高精度传感器元件和模拟和数字处理电子设备集成在一个CMOS硅芯片上。结合高品质的材料，结果是一个持久稳定，非常快速和高精度的质量流量计。，SFM5400质量流量计是无阀版本的SFC5400质量流量控制器。SFC5400质量流量控制器具有与质量流量计相同的性能特点，并在类似应用中使用，这两种产品可以理想地结合在一起。

技术参数