设备制造商正在寻找紧凑的解决方案，以监测或控制其系统中的气体流量或压力。以前，传统的质量流量和压力仪表及控制器需要1.5英寸的占地面积，如NeSSITM系统中规定的那样。现在，在与TNO-TPD（荷兰领先的应用物理研究所）的密切合作下，Bronkhorst High Tech开发了IQ+流量传感器。由于采用了微固态技术（MEMS），Bronkhorst能够将封装尺寸减半至0.75英寸，从而实现超紧凑的流量和压力控制器。高内在质量，特点…，客户特定设计，基于IQ+flow®系列微系统技术，Bronkhorst High Tech还提供了在紧凑的流形上组合功能模块的可能性。参见IQ+流量歧管解决方案，分析应用：，基于占地面积为0.75的超紧凑模块的分析应用示例如下：
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
| 物理规格 | undefined |
| 质量流量 | 5.51E-7 to 0.0138 lbs/min (1.50E-8 to 3.75E-4 metric tons/hr) |
| 特征 | Controller; Recorder / Totalizer Functions |
| 产品类别 | Gas Flow Meters |
| 测量介质 | Gas |
| 产品标准 | RoHS |
| 显示 | Digital (optional feature) |
| 面板接口 | Computer Controllable |
| 仪表类型 | Mass Flow Meter; Volumetric Flow Meter |
| 安装 | In-line |
| 工作压力 | 0.0 to 2176 psi (0.0 to 1531 m H2O) |
| 输出选项 | undefined |
| 测量技术 | Thermal |
| 气体体积流量 | 7.06E-6 to 0.1766 SCFM (1.20E-5 to 0.3001 m³/hr) |
| 过程工作条件 | undefined |
| 电气输出 | Analog Current; Voltage |
| 用户接口 | undefined |
| 终端配件 | Compression; In-line Threaded (optional feature) |
| 介质温度 | 32 to 158 F (0 to 70 C) |
| 流量性能范围 | undefined |
| 接口选项 | Serial/Digital; Network/Fieldbus |
