SMC的PFM系列是双流量开关，设计用于检测芯片组件在真空中的吸附、过滤器和喷嘴的堵塞。结构紧凑，重量轻，适合与二氧化碳、空气、氮气或氩气一起使用。流速范围：10、25、50100升/分钟。最小单位设置：0.01升/分钟。重复性：u00b11%F.S.或更低。无油脂。流量调节阀是集成的-减少管道和节省空间。响应时间可设置为监控的介质=空气，气体设备类型=流量开关最小流量=2 L\/min最大流量=100（Ar）L\/min，100（干空气）L\/min，100（N2）L\/min，50（CO2）L\/min供电电压=24 V dc连接类型=1\/4 NPT最大压力=1MPa材料=PBT最小介质温度=0°C最大介质温度=+50°C

产品详细信息

数字流量开关-pfm7系列 SMC 的 PFM 系列为双流量开关，设计用于检测真空中的微芯片元件吸收以及过滤器和喷嘴中的拥塞。
紧凑型轻便设计，适用于二氧化碳、空气、氮气或氩气。
流率范围:10、25、50,100l/min最小单位设置:0.01l/min重复性:±1%F.S. 或更低！润滑脂-自由流量调节阀集成-减少布管和节省空间的响应时间可设置

技术参数