SMC的PFM系列是双流量开关，设计用于检测芯片组件在真空中的吸附、过滤器和喷嘴的堵塞。结构紧凑，重量轻，适合与二氧化碳、空气、氮气或氩气一起使用。流速范围：10、25、50100升/分钟。最小单位设置：0.01升/分钟。重复性：u00b11%F.S.或更低。无油脂。流量调节阀是集成的-减少管道和节省空间。响应时间可设置为监控的介质=空气，气体设备类型=流量开关最小流量=2 L\/min最大流量=100（Ar）L\/min，100（干空气）L\/min，100（N2）L\/min，50（CO2）L\/min供电电压=24 V dc连接类型=6 mm一键式接头最大压力=1兆帕材料=PBT最小介质温度=0°C最大介质温度=50°C
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 输出选项 | undefined |
| 电气输出 | Switch |
| 过程工作条件 | undefined |
| 流量性能范围 | undefined |
| 气体体积流量 | 0.0706 to 3.53 SCFM (0.1200 to 6 m³/hr) |
| 制造商 | SMC Corporation of America |
| 产品类别 | Gas Flow Meters |
| 产品型号 | PFM711S-C6-B-MN-ZS |
| 测量介质 | Gas |
| 工作压力 | 145 psi (102 m H2O) |
| 介质温度 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
