合肥领航微系统集成有限公司 是先进功能薄膜MEMS传感器与执行器微系统IDM企业， 主营业务范围为MEMS微镜，芯片扬声器以及超声波传感器与信号处理ASIC的研发与制造，同时可提供SOI硅基MEMS传感器代工服务 成立于2022年获得14项专利服务过40余家企业拥有11名专家级员工研发实力公司拥有8英寸薄膜MEMS晶圆工艺线，其中薄膜MEMS传感器与执行器产能可达10000片/年，SOI硅基MEMS传感器产能可达 公司在功能薄膜材料后处理方法、传感器设计、复合传感器设计、传感器三维集成、传感器检测算法等方面具有完整知识产权。 MEMS产线（IDM）-8英寸合肥领航微系统集成有限公司是先进功能薄膜MEMS传感器与执行器微系统IDM企业， 主营业务范围为MEMS微镜，芯片扬声器以及超声波传感器与信号处理ASIC的研发与制造，同时可提供 领航微系统拥有8英寸薄膜MEMS晶圆工艺线，其中薄膜MEMS传感器与执行器产能可达10000片/年，SOI硅基MEMS传感器产能可达60000片/年，掌握功能薄膜生长、MEMS设计、工艺、封测、信号处理等全链条技术

常州元晶摩尔微电子有限公司 / 常州元晶电子科技有限公司 研发的MEMS扬声器，采取基于TSV的3D互联的MEMS薄膜压电驱动技术，结合先进的高速音频处理算法技术，具有驱动振幅大、声压高、低驱动电压、低功耗 公司设有2个研究机构：MEMS电声和MEMS红外传感器，投资建立了千级净化车间和多条完整的传感器生产线，配套建设了声学实验室，检测分析实验室，并购置了先进的测试设备，使产品的研发检测生产水平得到显著提高 产品MEMS麦克风、MEMS扬声器、MEMS智能器件和组件、MEMS电子产品的研发、生产、销售、技术开发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售