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上海工研院上海微技术工业研究院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台 通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发，为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。 上海工研院于2017年建成全国首条8英寸研发中试线，洁净室面积近5000平方米，硬件投入超10亿元，拥有主流设备150多台，可提供智能传感器、硅基光子学、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为产品设计公司提供高效的工艺研发和中试服务 研发中试线是上海工研院高效运转的“发动机”。 2023年平台发布了基于90nm工艺节点的 SOI PDK，核心器件库性能达到国际主流水平。平台提供光收发、光传感等多种类型硅光芯片的研发和小批量流片服务。
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河南豫芯智能传感器河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线）-8英寸据河南省公布的《2023年河南省重点建设项目名单》最新消息显示，《郑州高新智能传感器产业基地项目（原MEMS中试平台项目）》列入重点建设名单中，属新一代信息技术在建重点项目 ，总建筑面积约6万平方米，主要建设河南省智能传感器MEMS研发中试平台所需物理空间，包括测试楼、主厂房、动力中心、危废品库、硅烷站、氢气站、化学品库及配套用房、设施。 河南省智能传感器MEMS中试平台落户郑州高新区的中国（郑州）智能传感谷，于2022年8月动工建设。 该项目围绕智能传感器的设计、制造、封测和应用等全产业链各环节布局，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台。
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国家智能传感器创新中心国家智能传感器创新中心 致力于先进传感器技术创新，联合传感器上下游及产业链龙头企业开展共性技术研发，形成“产 学 研 用”协同创新机制，打造世界级智能传感器创新中心。 创新中心依托上海芯物科技有限公司，采用“平台+联盟”的方式，通过构建产业生态圈，面向智能传感器设计、材料、制造、设备、封装、测试等产业链上的大中小型企业提供关键共性技术支撑平台。 国家智能传感器创新中心以应用为导向，通过建立传感器新材料、新工艺、新器件结构等的研发平台、工艺制造平台、测试平台、设计服务平台、工程服务平台，研发新一代传感器的材料、制造工艺、封装、器件集成等方面的核心技术 MEMS产线（中试线）-12英寸2021年6月30日，由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。 该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，
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MEMS RIGHT 苏州微纳苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力 自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器 、温度传感器等项目，实现单月产出5000片晶圆等一系列辉煌成绩。 ，扩散设备案例铌酸锂薄膜器件，PZT压电薄膜，硅麦克风，温度/流量/气体传感器，磁传感器，压力传感器，喷墨打印头，微振镜分公司苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司 是国内首个商业化运作的 为进一步提升支撑产业的能力，平台将配合国家三代半创新中心建设，进行六寸线三代半升级及新建8寸产线，成为国内领先的MEMS、三代半综合中试量产平台，支撑我国5G通讯、电子电力、智能传感、激光雷达、3D成像及
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Silex 赛莱克斯深圳大湾区MEMS中试线（中试线）-8英寸2022年11月，在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上，已敲定总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区。 该项目规划建设一条约产能3000片的8吋MEMS中试线，并具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台。同时，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。 该项目也是深圳首条MEMS中试线，2023年8月最新消息，赛微电子旗下全资子公司赛莱克斯国际与深圳市重大产业投资集团有限公司关联主体等联合，通过投资设立 赛莱克斯深圳，在深圳投资建设MEMS项目，深圳大湾区 MEMS中试线走向落地，并由赛微电子主导建设。 相关信息参看《深圳首条MEMS中试线落地！》。
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国高微系统 / 博华电子，专门从事微型传感器的研发和生产，是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的企业。 ，专门从事微型传感器的研发和生产，是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的企业。 标准化厂房MEMS中试代工平台等部分。园区重点引进国内外MEMS创业团队，产品公司，封装测试公司，致力打造涵盖微机电系统器件设计，中试代工，封装测试，规模量产的全产业链的一流产业园区。 是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。 公司集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，专门从事MEMS微型传感器的研发与生产。
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淄博高新技术产业开发区MEMS研究院名国际知名专家组成的专家委员会和30 余名国内知名专家组成的项目专家组，掌握体硅、压阻、压电等 MEMS 成套工艺，先后获得“教育部技术发明一等奖”和“山东省首批新型研发机构”，研发了继电器、压力计、高温高精度薄膜温度传感器和芯片级原子钟等 MEMS 器件；已建成了国内首条具有“国际先进水平”的 6 英寸硅基MEMS中试代工平台，其中洁净间面积 1540 ㎡其中：百级 340 ㎡、千级 400 ㎡、万级 700 ㎡、十万级 100 ㎡，已购置设备 提供 MEMS 产品工艺开发、版图设计、中试代工、分析测试等专业技术服务 ; 研制量程 0~1MPa 压阻式压力计工作温度 -55℃ ~150℃，满量程输出 70~80mV（5V 供电），线性度优于 ± 研究院设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等分中心和分实验室，提供MEMS器件小试、中试 MEMS研究院投资建设了国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
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甘肃省科学院传感技术研究所传感所目前主要开展MEMS传感器、纳米功能材料、生物传感技术、传感应用技术等领域的基础研究和应用研究工作。 近年来，传感所组建了MEMS传感器实验室，耗资3000多万建成了一条MEMS传感器研发线，满足MEMS磁性传感器的研究开发。同时，还建有一条纳米材料中试线，可满足新型纳米生物磁珠的研发及小批量生产。 已研发成功并计划进行中试和产业推广的产品，主要有两类：第一类是纳米生物磁珠系列产品，主要包括：基础磁珠、活性基团修饰磁珠和功能生物分子包覆磁珠。 第二类是MEMS传感器系列，主要包括：巨磁阻MEMS转速传感器和巨磁阻MEMS磁传感器。 传感所目前拥有的科技创新平台：2012年9月， 甘肃省传感技术工程研究中心2013年11月，甘肃省传感器及应用行业技术中心2014年8月，甘肃省传感器与传感技术重点实验室2015年12月，甘肃省传感器与物联网专业化众创空间
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Refresh AI Biosensor 刷新智能深圳刷新生物传感科技有限公司 / 刷新智能（RIT）成立于2016年，公司以自主研发智能生物传感芯片平台为基础,专注于可穿戴、微型化及便携化智能生物传感器的研发与应用，并且主要应用于精准医疗与大健康领域 目前公司申请专利120余项，包括多个生物传感器底层发明专利，技术路径完整布局智能生物传感领域。公司总部设在深圳光明区恒泰裕华南医谷，生产制造中心位于深圳龙岗通产丽星科技产业园区。 目前拥有2000平米中试车间(含500平米万级无菌车间)，用于二、三类基于生物传感器的医疗器械及可穿戴电子设备的研制和生产。 实验设施完善，包括智能生物传感实验室、合成实验室、微电极实验室、硬件实验室、可靠性实验室、万级无菌中试车间等。 ；领军人物张学记 美国医学与生物工程院院士刷新传感名誉董事长兼首席科学家，深圳大学副校长，国家特聘教授中国生物传感器领军人国家重大研究项目首席科学家，国家重点研发专项首席科学家，国家重大研究计划指导专家
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NANO POLIS 苏州纳米城、市场化和工业级MEMS产业中试平台——6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台；在知识产权板块，依托苏州工业园区知识产权运营与服务中心，打造了长三角地区唯一一家聚焦细分产业领域的国家专利运营试点单位。 苏州纳米城苏州纳米城位于中新合作苏州工业园区，由苏州纳米科技发展有限公司开发建设，包括苏州纳米城I区、II区、III区，占地面积近1800亩，截至2020年12月累计建成载体近50万平方米，集聚各级领军人才250+，先后荣获国家级科技企业孵化器、 MEMS产线（中试线）-6英寸苏州纳米城6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。 苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器 、微镜传感器、微流体传感器等产品。
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工信部最新重磅政策，7个传感器中试平台开建（附全名单）05-10 16:41
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工信部最新重磅政策，7个传感器中试平台开建（附全名单）05-09 18:12
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深圳将启动总规模50亿元的智能传感器产业基金2022-11-16
