以及采用底层MEMS工艺，在PMMA、PC、COC等材料上实现微流控芯片的转印成型，极大的降低产品成本以及缩短了芯片的开发周期。 柔性电极柔性电极材料是一种具有较好机械柔性和导电性能的材料，可以应用于柔性电子器件、可穿戴设备、人机交豆等领域。目前常用的柔性电极材料主要包括比如P1、PET、金属纳米线和导电聚合物等。 公司较为擅长的是采用生物兼容的PI材料，可以实现超薄(5um)PI材料上电极图形的阵列化，从而形成生物电生理电极器件,或者用于体内电记录/刺激的植入式柔性电极，已应用在了相关脑机接口公司和研究机构。 深硅刻蚀刻蚀技术是MEMS制备工艺的关键成形技术，采用刻蚀气体形成等离子体的物化作用，从被刻蚀衬底表面选择性的去除不需要的材料，完成光刻图形转移的过程。 而深硅刻蚀技术多指采用特殊的Bosch工艺，可以实现选择比高、刻蚀速率快、侧壁粗糙度小的高深宽比刻蚀。这种干法刻蚀技术可以有效阻止或减弱侧向刻蚀，设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层抗刻蚀薄膜的工艺。

电极锅炉电极锅炉具有高效率、无污染、无排放、自动控制无人值守的特点，可作为燃煤、燃油、燃气锅炉的有效替代或补充，将在环境保护、绿色能源、节能减排、碳中和等领域更好地促进我国乃至全球的清洁能源转型发展。 干熄焦余热锅炉在钢铁焦化领域，干熄焦余热锅炉是干法熄焦工艺成套设备中的关键设备之一。