业务领域纳米技术解决方案 我们将与我们的客户一起在半导体设备制造的前线创造新的价值，这将支持人工智能、物联网和 DX 等数字技术的发展。 我们的产品阵容涵盖半导体制造所涉及的加工、测量和检查过程，包括全球最畅销的长度测量 SEM、用于高精度微细加工的等离子蚀刻系统和缺陷检测设备。 主要产品干法蚀刻系统CD-SEM 和缺陷检测分析和医疗解决方案我们通过将尖端分析和自动化技术与数字技术相结合，为医疗保健行业带来新的价值。

柔性电极柔性电极材料是一种具有较好机械柔性和导电性能的材料，可以应用于柔性电子器件、可穿戴设备、人机交豆等领域。目前常用的柔性电极材料主要包括比如P1、PET、金属纳米线和导电聚合物等。 深硅刻蚀刻蚀技术是MEMS制备工艺的关键成形技术，采用刻蚀气体形成等离子体的物化作用，从被刻蚀衬底表面选择性的去除不需要的材料，完成光刻图形转移的过程。 这种干法刻蚀技术可以有效阻止或减弱侧向刻蚀，设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层抗刻蚀薄膜的工艺。做到边刻蚀一边保护，很大程度的保证了垂直方向上的刻蚀效果。