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Zensemi 增芯科技由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起,于2021年4月在广州正式成立,注册资本为36亿元人民币,主营业务是集成电路制造及研发设计服务,目前正在建设以传感器及配套专用ASIC芯片为主要产品的12英寸晶圆制造产线 MEMS产线(代工)-12英寸2022年12月14日,广州增芯科技有限公司举行盛大的开工仪式,这条可能是未来中国甚至全球最大的MEMS产线正式开工建设。 增芯科技有限公司 12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目为最新动工建设的12英寸晶圆项目。增芯科技为广州湾区智能传感器产业集团有限公司重点项目之一。 目前建设的为一期第一阶段项目,批复投资70亿元人民币,将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工,计划2024上半年通线,2025年年底满产。 广州增芯科技MEMS产线项目投资规模、产能均较大,建成后将对我国MEMS产业格局具有重要影响。
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Magnet-MAX 麦吉克斯高核心技术: 多项自主知识产权,的锑化铟薄膜、单晶材料(晶圆)和红外、磁敏传感芯片、磁传感器产品的核心技术。设备和多条产品线的运营能力: 半导体锑化铟晶圆、磁传感器芯片生产产线和磁传感器生产产线。
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MDT 多维科技江苏多维科技有限公司提供的选项服务包括:TMR晶圆• 以晶圆、裸片或封装器件的形式提供TMR磁传感器 • 为TMR/GMR/AMR磁传感器提供定制设计服务 • 专用集成电路(ASIC)设计 • 为TMR /GMR/AMR磁传感器提供晶圆代工服务 • 定制传感器模块设计与应用解决方案MEMS产线(IDM&代工)-6 / 8英寸成立于2010年,总部在江苏张家港,建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻 (TMR)的磁性感应芯片产线。 多维科技的磁传感器晶圆代工厂拥有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线,提供完整的磁传感器(AMR / GMR / TMR)开发及晶圆制造服务(包括设计、制造和测试),年产10亿个TMR磁传感器。 ,TMR齿轮编码器,AGV磁导航传感器,TMR低噪声线性磁传感器,TMR线性位移传感器,TMR流量传感器,USB磁强计,传感器演示套件应用工业控制,民用表计,消费电子,金融机具,物联网汽车,生物与医疗晶圆代工概述光刻镀膜刻蚀
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UNT 芯联集成 ( SMEC 中芯集成 )公司以晶圆代工为起点,向下延伸到模组封装,为国内外客户提供一站式代工解决方案,为功率、传感和传输等领域的半导体产品公司提供完整生产制造平台,支持客户研发以及大规模量产。 MEMS产线 -8英寸绍兴中芯集成电路制造股份有限公司(下称“中芯集成”)拥有目前中国大陆本土产能最大的MEMS产线,MEMS晶圆年销量达85000+片。 同年5月,总投资58.8亿元的中芯集成电路制造(绍兴)项目开工奠基,该项目用地207.6亩,新建14.65万平米的厂房,建设一条集成电路8寸芯片制造生产线和一条模组封装生产线。 2020年第四季度一期产能扩产至每月4万片晶圆,近期其成功完成晶圆设备链调试,8英寸晶圆月产能增至7万片,良品率达99%。 “二期晶圆制造项目”拟使用募集资金投入 66.60 亿元,将建成一条月产 7 万片的硅基 8 英寸晶圆加工生产线,进一步提升公司 8 英寸 MEMS 和功率器件的代工产能。
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SMEI 赛微电子目前赛微电子主要MEMS晶圆产线布局1. 已运营MEMS产线:瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圆-产能7,000片/月;北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能3万片/月(已实现5,000片/月);青岛GaN产线-GaN 外延晶圆-产能830片/月。 交易中MEMS产线:德国FAB5-汽车芯片-8英寸晶圆-产能高于8,000片/月。(该交易已与2022年11月被德国政府禁止,相关信息参看:《6亿收购泡汤!中国最大MEMS代工厂被德国下禁令!》) 筹划/筹建中MEMS产线:FAB4(内部商业讨论中);合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圆-设计总产能2万片/月;怀柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圆-设计总产能3,000片/月;MEMS先进封测
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宁波启朴芯微宁波启朴芯微系统技术有限公司 专注于MEMS器件设计、工艺开发、流片代工,建有全系8英寸MEMS工艺产线,兼容6/4英寸晶圆级加工,拥有光学类与SOI类特色工艺能力,提供对准光刻、深硅刻蚀、晶圆键合、薄膜沉积 、减薄抛光、湿法腐蚀、氧化退火、激光划片、打线封装等工艺开发与稳定流片服务,可定制化开发Cavity SOI晶圆、光学滤波芯片、高端MEMS核心芯片及产品,提供一站式MEMS产品加速开发服务。
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Genichip 臻芯微电子臻芯微电子成立于2021年6月,其MEMS产线已与2022年10月完成设备调试和全线投片通线,计划于近期开始试生产,整体达产后年销售突破15亿元。其MEMS中试线研发生产项目总投资14亿元。 其中一期投资8亿元,建设一条高性能体声波滤波器芯片制造和封装线,具备年产9.6亿颗体声波(BAW)滤波器芯片能力;二期扩产后滤波器年产量翻倍,并具备应用于对应规模的射频模组封测能力。 据臻芯微电子披露,该MEMS滤波器芯片产线为6英寸晶圆线,一个6英寸晶圆可产出1~2万颗滤波器芯片,此外,该产线具备表声波(SAW)滤波器生产能力,年产能达12亿颗。
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山东产研微纳与智能制造研究院山东产研微纳与智能制造研究院有限公司 山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台(中试线)- 4&6英寸2023年5月,由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通 微纳制造平台建设总投资2亿元,山东产研微纳与智能制造研究院主导运营,是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线,定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。 山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆,MEMS晶圆尺寸为4&6英寸。
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国家智能传感器创新中心国家智能传感器创新中心 致力于先进传感器技术创新,联合传感器上下游及产业链龙头企业开展共性技术研发,形成“产 学 研 用”协同创新机制,打造世界级智能传感器创新中心。 MEMS产线(中试线)-12英寸2021年6月30日,由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。 该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,
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SPARC 锡产微芯无锡锡产微芯半导体有限公司 是一家半导体晶圆生产商,由无锡产业发展集团有限公司、威孚高科、太极实业、思帕克微电子、初芯半导体五家公司于2019年6月共同投资设立。 2016年6月,中芯国际以4900万欧元收购由LFE以及MI控股的意大利集成电路晶圆代工厂LFoundry 70%的股份。 2019年,中芯国际向外宣布出售LFoundry,中间的买方几经转折,最终由刚成立不久的锡产微芯以1.13亿美元的价格成功收购该工厂。 Foundry成立于1989年,是一家专业晶圆代工厂,总部位于古欧洲的中心意大利阿韦扎诺,主要提供最先进的模拟制造服务,此前的晶圆月产量已超过4万片。 LFoundry拥有先进的8英寸产线以及150nm和110nm工艺制程,并通过优化工艺以及背面照明技术为CMOS图像传感器提供支持。
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华润微:目前公司在手订单饱满,IGBT业务仍保持高速增长2022-06-08