在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。 我们已经为国内众多科研院所和大学科研中心，根据用户的项目方案的要求配制和提供了上百套系统，主要用户包括：中科院物理所，中科院半导体所，中科院大连化学物理研究所，国家纳米中心，上海纳米中心，北京大学，清华大学 产品中心薄膜半导体材料制备系统超高真空组件气溶胶设备等离子体技术光刻系统材料表征设备半导体辅助设备半导体测试设备过滤测试设备生物技术环境气象设备核辐射检测设备半导体行业计量标准样品

武汉衍熙微器件有限公司是一家专注于MEMS（微机电系统）器件研发、生产和代工的高科技企业，致力于为客户提供高性能压电器件解决方案及专业的材料表征与膜层量测服务。 材料表征服务：配备X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等先进设备，为客户提供材料结构、形貌及性能的精准分析。3. 膜层量测与修整：拥有金属膜厚量测仪（ECHO）、椭偏仪、台阶仪、应力仪等工具，结合独创的膜层修整工艺（Trim），可实现对薄膜厚度、应力等参数的纳米级调控。