核心技术多项核心技术突破麦锴公司凭借自主研发的、国际领先的MEMS快反镜技术，为我国空间激光通信网络的建设提供了坚实的支撑专业自主的MEMS结构设计镜面尺寸1~15mm，谐振频率0.1~30 kHz独特的双层堆叠 MEMS架构，结合高效能隐藏式压电致动器协同设计，构筑高频高占空比的大口径微镜产品。 独有的面型修调技术RMS面型≤20 nm@10mm晶圆级纳米尺度面型修调工艺，与多层复合薄膜应力控制技术相结合，开拓高径厚比MEMS镜面的高面型精度制备方法。 MEMS（Microelectromechanical Systems，微机电系统）工艺是一种在纳米至毫米尺度范围内制造微结构的加工技术。