这个基于全新原理的仪器，将传统热重分析仪天平称重+炉管加热+热电偶测温的结构，用一个尺寸仅为2mm x 2.5mm的MEMS谐振式微悬臂梁芯片替代，实现了片上热失重分析功能。 之后，基于谐振式悬臂梁的生化传感器研究如雨后春笋般涌现。 海恩迈科技的创始人兼CEO于海涛博士于2009年，开发出了国内首款激励/检测元件片上集成的谐振式微悬臂梁，摆脱了传统的光学杠杆检测方式，有效减小了系统的体积与成本，并在此基础上开发出了一系列气敏传感器。 一般来说，谐振式微悬臂梁一直被用作气敏传感器，如美国NavadaNano公司的MPS系列传感器产品。 对于气敏传感器，受关注的是传感器的灵敏度、选择性、响应速度等参数，谐振式微悬臂梁只是一个载体，敏感材料与待测气体分子界面作用机理才是传感器的关键。

instruments），成为国内唯一独立掌握电容式微差压传感器核心技术的企业，达到行业领域技术制高点；于2023年发行股票购买资产收购无锡格林通安全装备有限公司，凭借20多年在可燃气体、有毒气体、火焰探测等领域的钻研与沉淀 该产品作为森霸传感新一代高端热释电红外传感器，主要应用于高端智能家居产品、平板电脑、高端照明产品等领域。目前，已经获得了多家智能家居行业龙头企业的认可和选择。 专业的技术服务 森霸传感是一家集研发、生产、销售及服务于一体的专业传感器供应商，是继美国、日本之后，国内领先掌握热释电红外传感器核心技术并批量生产的企业。 公司专注热释电红外传感器18年，现已掌握了红外滤光片与红外敏感陶瓷两大核心材料的研发技术并具备了批量化生产的能力。 主要产品热释电红外传感器，可见光传感器，火焰传感器，红外气体传感器，红外热电堆温度传感器，线性光耦，滤光片，人体感应模块，菲涅尔透镜，微差压传感器，金属化光学窗口应用领域小夜灯，橱柜灯，玩具，感应开关，