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Avptec 艾微普科技浙江艾微普科技有限公司 由美国硅谷企业家团队与国内著名上市企业天通公司(TDG)合作，在浙江海宁创立。 公司聚集了多位海内外资深微纳加工及半导体设备、工艺、材料专家，专注打造世界先进水平的高端微纳器件、半导体、及新能源加工设备。 机加车间占地1000平米，配有机加工中心、立/卧式车床、焊接、剪切、喷砂、清洗、热处理等门类齐全的机加设备。 公司依托海宁优秀的创业、人文环境，致力于核心微纳加工装备的国产化，新型微纳加工装备的研发、生产，及工艺和材料的研发，为蓬勃兴起的中国MEMS、半导体、新能源等产业献力赋能。 产品技术薄膜沉积薄膜刻蚀其他设备
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SZTU 微纳加工中心深圳技术大学半导体微纳加工中心 是集产、学、研于一体的加工平台，作为广东省深圳市的公共服务平台，深技大微纳加工平台既为大学和科研院所的科学研究提供服务，也为企业技术研发和中试提供全方位的开放服务，包括以下开放模式 技术开放：微纳加工中心可以提供全方位的技术支持，以促进微纳加工技术进步，降低使用者的技术研发成本。 半导体微纳加⼯中⼼拥有超2000平⽅⽶的超净室，⼯艺线主要设备超过120台(套)，具备专业技术过硬的研发、⼯艺和设备⼯程师团队。 微纳加⼯中⼼拥有化合物光电器件的全套⼯艺加⼯能⼒，如GaAs和InP基VCSEL、DFB等，兼具部分第三代半导体（如GaN、SiC）和硅基MEMS器件加⼯能⼒。 平台特色平台服务，光刻工艺设备和键合工艺设备，薄膜工艺设备，离子注入/退火设备和干法刻蚀工艺设备，湿法刻蚀工艺和后道工艺设备，测量表征设备，外延工艺设备，微纳加工中心工艺模块
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PRINANO 璞璘科技璞璘科技（杭州）有限公司 创立于2017年，公司获得杭州市“5110”海外高层次人才B类支持，多年来致力于纳米压印系统、纳米压印材料、纳米压印工艺、微纳加工耗材以及微纳结构器件应用研发能力等核心技术研发 公司是以高端微纳制造为主业的企业，努力打造属于中国自己的高端微纳制造服务平台，长期致力于为高端微纳加工、微纳制造的科研院所、生产制造服务。 经过多年发展，公司已成功研发“研发、量产型纳米压印系统”“步进纳米压印机”、“纳米压印模板复制系统”、“分子级表面处理系统”以及多项微纳加工耗材包括：高分辨率紫外固化胶、耐刻蚀热压及紫外固化胶、高折率率纳米压印材料 、微纳米模板个性定制等。 目前，公司可提供从压印模板制造设备、纳米压印设备、压印材料到压印工艺等完整纳米压印技术闭环的纳米压印系列产品，并提供强大的微纳加工与纳米压印技术支持。
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英铂科学仪器英铂科学仪器(上海)有限公司是一家专注于半导体晶圆级测试系统、微纳米科学等领域提供综合性解决方案的企业，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体测试系统及微纳米科学仪器设备，助祖国半导体科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力 目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体晶圆级测试系统、微纳米加工等科学仪器的企业。 在半导体晶圆级测试系统方案、微纳加工设备，微纳表征设备，微纳领域耗材，微纳加工及测试，微纳周边产品等相关领域，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前、售中、售后的全方位服务。 未来公司将不断推荐和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所著名的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。
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山东产研微纳与智能制造研究院山东产研微纳与智能制造研究院有限公司 山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台（中试线）- 4&6英寸2023年5月，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通 ，实现具备完整MEMS生产加工能力，其自主生产的首款产品正式下线并交付。 微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。 平台总面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区，配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备 山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆，MEMS晶圆尺寸为4&6英寸。
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Nawei 纳微涂层上海纳微涂层有限公司 是一家专业化刀具、模具涂层公司, 公司成立于2001年，坐落于上海市青浦工业园区，总投资额为700万美元, 占地面积12000平方米。 上海纳微涂层有限公司的大型涂层设备采用了目前该领域最先进的“动态磁控阴极电弧和超长矩形电弧靶”涂层技术。 纳微涂层种类有 : 超A涂层、超A+M涂层、超级-氮化钛(S-TiN)、氮碳化钛(TiCN)、 类金刚石(DLC)、氮化铬(CrN)及复合涂层。 纳微涂层可以用于高速切削和干式切削，并可以大幅度提高刀具、模具与摩擦磨损件的使用性能和寿命。其涂层刀具适用于航空、汽车和模具工业中难加工材料(如钛、镍、铝合金以及不锈钢和高强度模具钢等) 的加工。
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Laser nanoFab德国 LasernanoFab 微纳加工系统德国 LasernanoFab 微纳加工系统在飞秒激光器在微纳米技术中的应用方面拥有长期的经验。 我们扩大流程规模并开发客户特定的设备。定制的系统和流程是我们的专长。
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GDnano 光舵微纳苏州光舵微纳科技股份有限公司 成立于2011年，致力于纳米压印设备及技术的研发及产业化推广应用，研发制作出多款纳米压印设备、配套工艺和耗材，并成功推出全自动量产型纳米压印设备，实现了产业化进展，在LED 行业实现了对步进式光刻机的产业化替代，也具备有多款适用于AR光栅，微构光学器件制作的量产型纳米压印设备，且具备有干法刻蚀微纳结构器件的加工能力。 公司由国家级人才工程引进人才创立，成立以来取得了国家级、江苏省、苏州市各级政府的扶持及资助，活动了蓬勃的发展，是微纳制造技术领域的高新技术企业。
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GermanLitho 天仁微纳青岛天仁微纳科技有限责任公司 成立于2015年，是专业的微纳加工设备和解决方案提供商。我们专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印技术。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。 产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。 我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用，例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等 行业资质天仁微纳坚持以质量和服务为生命的发展理念，通过不断的内部完善，先后通过ISO9001质量体系认证、设备CE认证、知识产权贯标体系认证等专业资质认证，为客户提供最好的产品与服务。 创新是天仁微纳发展的灵魂，坚持不断的创新，为客户解决高附加值的产业问题，是企业长久发展的关键。公司自成立以来，坚持投入研发创新，申请各种专利软著近百篇，授权近70篇。
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珠海镭通激光镭通激光 专注微纳尺寸的高端加工制造需求，聚焦半导体及光电领域，为客户提供超高精细度的激光加工设备以及半导体封装材料及零部件的一站式解决方案。 镭通激光核心团队由来自中科院、清华大学、吉林大学的高精尖人才组成，并有长江学者特聘教授（国际激光微纳加工领域的奠基人之一）作为首席科学家，涵盖光学、电气、材料、机械设计、精密制造等多个领域，具有强大的技术研发能力 镭通激光加工设备广泛应用于半导体与集成电路、5G通讯、新能源、航空航天、军工等领域，尤其在微电子封装领域，镭通的激光设备已成为行业秘密武器。 镭通激光长期与清华大学、吉林大学、中科院长春光机所、中国电子科技集团等单位保持前沿科研合作，持续关注行业需求，以激光微纳加工技术、封装材料技术助力半导体及光电产业发展。
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青岛天仁微纳总部项目奠基，聚焦纳米压印光刻技术2022-05-28
