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中科半导体微纳制造技术研究院广东中科半导体微纳制造技术研究院 是由佛山市、南海区共同投资建设的广东省省属事业单位。 研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求，布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向，开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究 研究院立足佛山，辐射粤港澳大湾区，建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台，打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。
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山东产研微纳与智能制造研究院山东产研微纳与智能制造研究院有限公司 山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台（中试线）- 4&6英寸2023年5月，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通 微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。 山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆，MEMS晶圆尺寸为4&6英寸。
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SVG 苏大维格苏州苏大维格科技集团股份有限公司 （简称苏大维格）致力于微纳关键技术、柔性智能制造、柔性光电子材料的创新应用，国家高新技术企业。 经多年发展，苏大维格成为微纳光电材料、新型显示和纳米印刷领域自主创新的典型企业，涉及微纳光学印材、纳米印刷、3D成像材料、平板显示（大尺寸电容触控屏，超薄导光板）、高端智能微纳装备（纳米压印、微纳直写光刻 新型显示、安全防伪、信息技术和印刷包装、教育科研等行业。客户为国内外上市公司、著名企业和高等院所。 1、器件应用： 平板电脑，智能手机等2、新型光学印材和薄膜：印刷包装、品牌印材（蓝色经典、云烟）等；3、智能微纳光刻直写设备：国内外著名企业、高等院所，国外日本、以色列等国。 产品与服务微纳制造数字化直写光刻，套准纳米压印光刻 ，扫描投影光刻，微纳3D打印，光场3D签注系统纳米印刷与立体成像3D光学印材，立体成像产品，光场成像材料，炫彩光变色烫印材料，证卡防伪解决方案，文博产品微纳光学与器件全息光栅
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MNST 微纳传感武汉微纳传感技术有限公司 (Wuhan Micro & Nano Sensor Technology Co., Ltd.）是一家专注于气体感测解决方案，集研发、生产、销售为一体的高新技术企业。 公司成立于2015年5月，位于国家级高新技术产业园区——东湖新技术产业开发区内。公司主要生产基于MEMS芯片技术的各种类型气体传感器，以及其应用产品。 公司申请多项发明专利，严格执行国家质量管理标准，推行全面质量管理，产品品质稳定可靠，已通过ROSH、REACH、ISO9001:2015质量体系认证，荣获国家高新技术企业证书。 研发中心：武汉微纳传感技术有限公司制造中心：海宁微纳芯传感技术有限公司
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PRINANO 璞璘科技璞璘科技（杭州）有限公司 创立于2017年，公司获得杭州市“5110”海外高层次人才B类支持，多年来致力于纳米压印系统、纳米压印材料、纳米压印工艺、微纳加工耗材以及微纳结构器件应用研发能力等核心技术研发 公司是以高端微纳制造为主业的企业，努力打造属于中国自己的高端微纳制造服务平台，长期致力于为高端微纳加工、微纳制造的科研院所、生产制造服务。 经过多年发展，公司已成功研发“研发、量产型纳米压印系统”“步进纳米压印机”、“纳米压印模板复制系统”、“分子级表面处理系统”以及多项微纳加工耗材包括：高分辨率紫外固化胶、耐刻蚀热压及紫外固化胶、高折率率纳米压印材料 、微纳米模板个性定制等。 目前，公司可提供从压印模板制造设备、纳米压印设备、压印材料到压印工艺等完整纳米压印技术闭环的纳米压印系列产品，并提供强大的微纳加工与纳米压印技术支持。
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Raytron 睿创微纳烟台睿创微纳技术股份有限公司（睿创微纳 股票代码：688002.SH）是领先的、专业从事专用集成电路、特种芯片设计与制造技术开发的国家高新技术企业，深耕红外、微波、激光三大领域，掌握多光谱传感研发的核心技术与 睿创微纳已实现从红外芯片、探测器、机芯模组到整机的全产业链布局；掌握集成电路设计、MEMS传感器设计及制造、封装测试、机芯图像算法开发、系统集成等非制冷红外成像全产业链核心技术及生产工艺，2021年发布世界第一款 睿创微纳专注于微波、毫米波频段的芯片、组件及相控阵微系统的研发与制造。 睿创微纳重点聚焦于激光感知技术及产品研发，致力于构建系列化激光测距、激光雷达产品的研发制造能力，掌握固体激光器、TOF 测距技术、高损伤阈值激光镀膜、3D 激光成像等核心技术。 激光测距睿创微纳深耕铒玻璃激光器技术、TOF测距技术，产品布局有铒玻璃激光器，人眼安全测距模块、测距整机等。
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UROPTICS 微瑞光学微瑞光学立足于微纳光学技术的研发创新和精益制造，专注于虚拟现实、汽车电子、手机等领域的光学和光电子应用，提供关键光学元器件和整体解决方案。 我们长期深耕在成像光学、照明光学、微纳光学、衍射光学等领域，积累了丰富的研发、工程和管理经验。 公司立足于微纳光学技术的研发创新和精益制造，专注于虚拟现实、汽车电子、手机等领域的光学和光电子应用，提供关键光学元器件和整体解决方案。 我们长期深耕在成像光学、照明光学、微纳光学、衍射光学等领域，积累了丰富的研发、工程和管理经验。 服务领域消费/汽车电子手机ToF,屏下指纹智能家居激光雷达人脸识别消费类无人机车载照明新应用迎宾投影标志照明装饰照明舱内氛围超薄前照灯VR/AR超薄VR眼镜光学模组DOE光学元件AR技术创新技术与创新光学设计创新工程技术服务整体解决方案咨询公司布局微瑞光学上海研发中心江西微瑞光学有限公司嘉兴微瑞光学有限公司
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Zhixinweina 智芯微纳深圳市智芯微纳科技有限公司（Shenzhen Zhixinweina Technology Co. ,Ltd）成立于2020年12月21日，是一家专业从事MEMS先进工艺低功耗微纳气体传感器芯片研发设计的创新性企业。 公司倚靠西安交通大学微纳技术国际实验室科研平台和科技力量，开发多款低功耗微纳气体传感器及相关专利，在纳米敏感材料、传感器芯片制程、MEMS先进制造工艺方面具有很强的技术优势，产品广泛应用于环境大气污染控制 经营范围包括传感器芯片、纳米新材料、半导体技术、电子应用模组、环境治理产品、消费电子产品的技术开发和销售。 主要产品基于MEMS工艺低功耗微纳气体传感器应用领域氢能源汽车 / 氢能源管理大气环境污染检测 / 治理无创伤智慧医疗
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NCSMS 纳克微束纳克微束(北京)有限公司 于2022年07月20日成立。钢研纳克检测技术股份有限公司成立于2001年3月，前身起源于1952年的重工业部钢铁工业试验所，是我国冶金分析测试技术的摇篮。 纳克微束(北京)有限公司于2022年07月20日成立。是上市央企钢研纳克子公司。 发展历程纳克微束由钢研纳克检测技术股份有限公司（股票代码：300797）、钢研投资有限公司、亦庄国投及核心团队共同出资创立。 /定位：中国电镜技术引领者愿景：纳克微束将秉承“守正创新”的行业担当，坚持走自主创新之路，立足新发展，贯彻新理念，努力解决扫描电镜技术“卡脖子”问题，推动高端科学仪器发展，攀登世界科技高峰，力争打造中国科学仪器企业在国际舞台的一张亮眼名片 经营范围公司经营范围包括：一般项目：光学仪器制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；其他通用仪器制造；光学仪器销售；软件开发；货物进出口；技术进出口；进出口代理；实验分析仪器制造
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UIGreen 和林微纳苏州和林微纳科技股份有限公司（股票代码: 688661）成立于2012年6月，是一家专注于微型精密制造的国家高新技术企业。 长期以来，和林微纳保持对精微技术的持续创新和卓越追求。 秉持技术为驱动，客户为导向的经营理念，通过一站式精微制造解决方案服务全球一流品牌客户，引领精微制造技术的发展公司采用全球化经营策略，积极布局全球业务，目前已设立美国、日本、新加坡，东南亚市场团队，服务全球 和林微纳致力于积极承担企业社会责任，打造志愿者活动平台，通过企业公益贡献社会。发展历程2007年 主要创始团队及部分核心技术人员在和林精密开展业务和研发工作；初步具备一定的精微加工能力。 2011年 认定为高新技术企业；成立苏州和林微纳科技有限公司，开始厂房规划建设；开始研发用于MEMS精微电子零部件产品及其相关生产技术工艺；具备进入MEMS领域的技术条件。
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MEMS智能传感器等微纳制造技术的发展趋势与发展建议（前沿研究）2024-10-09
