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Humb Sensing 蜂鸟传感广州蜂鸟传感科技有限公司 专注于压电MEMS传感器与执行器技术，是国内压电MEMS领域的创新者和开拓者。 团队已实现了压电MEMS传感器芯片设计、先进工艺、封装控制等多项关键技术突破，并围绕压电MEMS器件的应用开展模块三维集成、长期稳定性提升等研究工作。 在国内打破了PZT薄膜材料与MEMS技术融合的设计、工艺与封测瓶颈，所获得的多种压电MEMS传感器器件/模块性能指标国际领先，并构建出压电MEMS器件特色技术链条，着力推进压电 MEMS器件设计、制备、 核心优势核心优势一掌握超声波传感器芯片--封装--模组定制化设计技术面向应用，进行压电MEMS超声波传感器模组定制面向具体应用，芯片--封装--模组层级参数的分解基于平台技术，进行应用领域的拓展核心优势二掌握量产验证 智能终端：MEMS超声波传感器体积小适用于日益小型化的产品设备，智能终端系列产品广泛适用于VR/AR、智能耳机、智能手表等。主要产品MEMS传感器、应用模组和方案
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Huishi 慧石科技公司拥有世界一流的传感器核心技术和高素质的研发及管理人才，公司研发的高温MEMS芯片、高精度压力传感器、超小型传感器、超高压力传感器、超高温加速度传感器、超高转速传感器、大冲击传感器等多项技术和产品填补国内空白 主要产品加速度传感器MEMS电容型加速度计，微型压电加速度传感器，极端环境压电加速度传感器，常规电荷型压电加速度传感器，电压型压电加速度传感器，经济型电压型压电加速度传感器，微型电压型压电加速度传感器， 三轴加速度传感器，水下加速度传感器冲击传感器噪声传感器动态传感器动态力传感器，动态压力传感器传感器线缆及配件加速度传感器电缆及接头，加速度传感器配件电荷转换器在线电荷转换器，多通道电荷放大器MEMS压力传感器温度传感器磁电传感器转速传感器
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Rofs Microsystem 诺思微系统诺思（天津）微系统有限公司 成立于2011年，总部设于天津，总注册资本人民币3亿元，是中国首家FBAR生产企业，公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售，核心产品具有国际领先水平 MEMS产线（IDM）-4 / 6英寸天津工厂位于天津市经济技术开发区，总投资7.5亿元人民币，诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。 ★ 专注于射频MEMS领域研究17年★ 全球最早从事FBAR研究与产业化的团队之一★ 在国际顶级期刊和会议发表论文300余篇★ 承接国家重大科技计划，“863计划”专项科研课题 2021年3月，国家重点研发计划 “制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS 压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。
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Yanxi 武汉衍熙武汉衍熙微器件有限公司是一家专注于MEMS（微机电系统）器件研发、生产和代工的高科技企业，致力于为客户提供高性能压电器件解决方案及专业的材料表征与膜层量测服务。 MEMS器件代工：压电驱动微型超声换能器（PMUT）：应用于医疗成像、手势识别等领域，具有高灵敏度和低功耗特性。拾音单元（VPU）：为智能设备提供高保真声音采集解决方案。 压电驱动快返镜（FSM）：用于激光雷达、光学防抖等高端场景。BAW滤波器：支持5G通信的高频信号处理，累计出货量超1亿颗，客户包括闻泰、龙旗等ODM厂商，终端产品覆盖小米、三星等知名手机品牌。 2. 核心特色与行业地位- 国内首条8英寸MEMS产线：具备大规模量产能力，显著降低客户成本。 - 高性能压电材料技术：掌握AlN（氮化铝）及Sc（钪）掺杂AlN（掺杂比例覆盖9.6%-40%）的成膜工艺，器件性能国际领先。
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中科传感（青岛）研究院重点在传感技术、物联网、智能芯片、新材料等领域，尤其在MEMS传感技术及PVDF压电薄膜新材料、功能陶瓷新材料方面开展关键技术研究和成果转化，以期为多种行业领域提供综合性的应用解决方案。 配备有MEMS传感器、压电材料技术为主的传感器大型研发实验室、10万级别的防尘车间（可用于批量试产及制作样机）以及环境测试实验室、超声波实验室，可满足批量生产和产品检测的需求。
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TDK Tronics法国 Tronics Microsystems SA 是一家欧洲惯性MEMS传感器制造商,TDK拥有多数股份。从2017年开始,公司一直是公认的高性能惯性MEMS传感器技术领先者。 高性能惯性MEMS传感器供应商我们是欧洲高性能MEMS惯性传感器和惯性MEMS铸造服务的制造商及提供者，我们解决高性能导航设备日益小型化和降低成本的市场需求，我们提供标准和定制惯性MEMS产品,特别是工业 基于SOI的惯性MEMS的先驱成立于1997年,我们开创了在SOI晶圆上制造电容式MEMS惯性传感器的先河,用于高性能的应用。 产品与服务惯性产品惯性MEMS传感器MEMS加速度计Memm陀螺仪惯性器件制造服务 中国业务东电化爱普科斯(上海)电子有限公司关于 TDK CorporationTDK株式会社总部位于日本东京，是一家为智能社会提供电子解决方案的全球领先的电子公司 TDK全面和创新驱动的产品组合包括无源元件，如陶瓷电容器、铝电解电容器、薄膜电容器、磁性产品、高频元件、压电和保护器件、以及传感器和传感器系统（如：温度和压力、磁性和MEMS传感器）。
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AMSKY 爱司凯科技爱司凯是一家致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。 目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ；发明专利9件，实用新型专利106件，软件著作权60件，布图设计1件。 MEMS产线（IDM）-8英寸爱司凯成立于2006年，致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。 目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ，爱司凯在广州中新知识城建有8英寸晶圆MEMS喷墨打印头产线。
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MEMS RIGHT 苏州微纳苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力 平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。 自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器 公司营收逐年增长，已成为国内MEMS代工的中坚力量。 质量管理体系；ISO14001 环境管理体系；ISO45001 职业健康和安全管理体系；IATF16949:2016车用质量管理体系认证工艺设备光刻设备，刻蚀设备，薄膜设备，扩散设备案例铌酸锂薄膜器件，PZT压电薄膜
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USound 悠声科技奥地利 悠声科技 USound GmbH 是一家快速发展的音频公司，开发和生产基于 MEMS 技术的个人应用最先进的音频系统。 随着 MEMS 技术的引入，我们的目标是通过开发革命性的系统解决方案来增强和增强声音体验并创造与声音交互的新方式，从而在移动通信和消费电子产品中达到先进声学解决方案的市场领导地位。 2022年8月， 山东淄博高新区与悠声科技USound、惠友资本共建微系统IDM及产业集群项目签约仪式在山东举行，该项目将USound中国总部落地淄博高新区、依托TDK新科实业世界顶尖的压电技术、USound 世界领先的MEMS扬声器技术，致力打造全流程的MEMS扬声器生产线和国内一流的微系统产业集群填补行业空白 。 主要产品MEMS 扬声器MEMS扬声器驱动PAMEMS扬声器模组
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ICNano 芯云纳米芯云纳米技术（苏州）有限公司 是一家专注于微机电系统（MEMS）器件设计与加工的高科技公司，公司位于具有完整的微纳制造上下游配套产业链和产业集聚氛围的苏州工业园区。 团队成员来自于国际知名半导体公司德州仪器（TI)和超微半导体（AMD）等，以及中科院等知名研究所，在MEMS领域拥有十余年的技术积累和储备，掌握数十项芯片开发、工艺设计、微纳制造以及封装测试技术，包括温湿度传感器 、气体传感器、红外传感器、流量传感器、压力传感器、压电声学器件及生物类MEMS器件等。 芯云纳米具有强大的MEMS器件制造和生产能力，加工方法和设备成熟稳定，提供定制化的产品开发和验证，包含产品设计、器件仿真和工艺单步和全流程验证，同时为客户提供小批量产品中试和量产，并提供相应的封装测试服务等系统解决方案 ，真正实现MEMS一站式服务。
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MEMS 声学传感器2020-12-12
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全球首款纯正压电MEMS扬声器发布2020-07-13
