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Humb Sensing 蜂鸟传感广州蜂鸟传感科技有限公司 专注于压电MEMS传感器与执行器技术，是国内压电MEMS领域的创新者和开拓者。 团队已实现了压电MEMS传感器芯片设计、先进工艺、封装控制等多项关键技术突破，并围绕压电MEMS器件的应用开展模块三维集成、长期稳定性提升等研究工作。 在国内打破了PZT薄膜材料与MEMS技术融合的设计、工艺与封测瓶颈，所获得的多种压电MEMS传感器器件/模块性能指标国际领先，并构建出压电MEMS器件特色技术链条，着力推进压电 MEMS器件设计、制备、 测试标准化批量化技术发展，为技术产业化、加快应用奠定基础。 核心优势核心优势一掌握超声波传感器芯片--封装--模组定制化设计技术面向应用，进行压电MEMS超声波传感器模组定制面向具体应用，芯片--封装--模组层级参数的分解基于平台技术，进行应用领域的拓展核心优势二掌握量产验证
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中科传感（青岛）研究院重点在传感技术、物联网、智能芯片、新材料等领域，尤其在MEMS传感技术及PVDF压电薄膜新材料、功能陶瓷新材料方面开展关键技术研究和成果转化，以期为多种行业领域提供综合性的应用解决方案。 科研核心技术团队由中国科学院上海硅酸盐研究所、西安交通大学等相关研究领域专家组成。 配备有MEMS传感器、压电材料技术为主的传感器大型研发实验室、10万级别的防尘车间（可用于批量试产及制作样机）以及环境测试实验室、超声波实验室，可满足批量生产和产品检测的需求。 中科传感技术（青岛）研究院将坚持科研服务社会、造福人民的宗旨，发挥自身科研及产业化优势，聚焦传感技术领域，在青岛城阳区开展共性技术研究、创新人才培养、科技成果孵化、公共研发服务。 为各行业提供更聚焦、更灵敏的解决方案，推动“政、产、学、研、用、商”融合发展和产业资源聚集，形成传感技术行业多方位、多层次、多样化的技术协同创新平台和产业化生态圈，推动产业链资源集聚和优化配置，打造具有国际影响力的传感技术研发及应用基地
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Huishi 慧石科技., Ltd.）成立于2011年，坐落于上海市青浦区张江高科技园，是国家高新技术企业、上海市“专精特新”企业和上海市“科技小巨人”培育企业，是国家工信部强基工程发动机电喷系统“一条龙”示范企业，公司CTO 入选“上海市优秀技术带头人”计划并获得上海市五四青年奖章，公司拥有上海市青浦区认定的企业技术中心。 公司拥有世界一流的传感器核心技术和高素质的研发及管理人才，公司研发的高温MEMS芯片、高精度压力传感器、超小型传感器、超高压力传感器、超高温加速度传感器、超高转速传感器、大冲击传感器等多项技术和产品填补国内空白 主要产品加速度传感器MEMS电容型加速度计，微型压电加速度传感器，极端环境压电加速度传感器，常规电荷型压电加速度传感器，电压型压电加速度传感器，经济型电压型压电加速度传感器，微型电压型压电加速度传感器， 三轴加速度传感器，水下加速度传感器冲击传感器噪声传感器动态传感器动态力传感器，动态压力传感器传感器线缆及配件加速度传感器电缆及接头，加速度传感器配件电荷转换器在线电荷转换器，多通道电荷放大器MEMS压力传感器温度传感器磁电传感器转速传感器
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Rofs Microsystem 诺思微系统诺思（天津）微系统有限公司 成立于2011年，总部设于天津，总注册资本人民币3亿元，是中国首家FBAR生产企业，公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售，核心产品具有国际领先水平 MEMS产线（IDM）-4 / 6英寸天津工厂位于天津市经济技术开发区，总投资7.5亿元人民币，诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。 ★ 专注于射频MEMS领域研究17年★ 全球最早从事FBAR研究与产业化的团队之一★ 在国际顶级期刊和会议发表论文300余篇★ 承接国家重大科技计划，“863计划”专项科研课题 2021年3月，国家重点研发计划 “制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS 压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。
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Yanxi 武汉衍熙武汉衍熙微器件有限公司是一家专注于MEMS（微机电系统）器件研发、生产和代工的高科技企业，致力于为客户提供高性能压电器件解决方案及专业的材料表征与膜层量测服务。 公司依托国内领先的8英寸MEMS产线，以创新的技术、成熟的量产能力和严格的质量管控体系为核心竞争力，产品广泛应用于消费电子、通信、医疗等领域，并成功打入全球知名品牌供应链。 主营业务与技术优势公司主营业务涵盖以下三大方向：1. MEMS器件代工：压电驱动微型超声换能器（PMUT）：应用于医疗成像、手势识别等领域，具有高灵敏度和低功耗特性。 - 高性能压电材料技术：掌握AlN（氮化铝）及Sc（钪）掺杂AlN（掺杂比例覆盖9.6%-40%）的成膜工艺，器件性能国际领先。 企业理念与社会责任公司秉持“不断发展壮大、始终奉献社会”的核心理念，持续投入研发，推动MEMS技术国产化进程；同时注重产学研合作，与高校及科研机构共建创新平台，培养行业人才。
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TDK Tronics法国 Tronics Microsystems SA 是一家欧洲惯性MEMS传感器制造商,TDK拥有多数股份。从2017年开始,公司一直是公认的高性能惯性MEMS传感器技术领先者。 我们与法国 MEMS 和微纳米技术的核心团队 Minalogic 联盟，与各个行业领先者如STM、 Soitec, Schneider, Lynred 等有广泛的合作。 经过20年的发展,我们从CEA-Leti开始不断扩展和提升了原来的SOI表面微加工技术，制造和提供标准及定制的电容惯性MEMS传感器。 TDK全面和创新驱动的产品组合包括无源元件，如陶瓷电容器、铝电解电容器、薄膜电容器、磁性产品、高频元件、压电和保护器件、以及传感器和传感器系统（如：温度和压力、磁性和MEMS传感器）。 TDK重点开展如汽车、工业和消费电子、以及信息和通信技术市场领域。公司在亚洲、欧洲、北美洲和南美洲拥有设计、制造和销售办事处网络。
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AMSKY 爱司凯科技爱司凯是一家致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。 目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ；发明专利9件，实用新型专利106件，软件著作权60件，布图设计1件。 在未来的发展中，爱司凯将不断挖掘运用三大核心打印技术，用增材制造代替传统减材制造，用数字化、智能化、绿色化的打印技术颠覆传统制造业，把梦想打印成真，成为工业打印领域的世界知名品牌。 MEMS产线（IDM）-8英寸爱司凯成立于2006年，致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。 目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ，爱司凯在广州中新知识城建有8英寸晶圆MEMS喷墨打印头产线。
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USound 悠声科技奥地利 悠声科技 USound GmbH 是一家快速发展的音频公司，开发和生产基于 MEMS 技术的个人应用最先进的音频系统。 随着 MEMS 技术的引入，我们的目标是通过开发革命性的系统解决方案来增强和增强声音体验并创造与声音交互的新方式，从而在移动通信和消费电子产品中达到先进声学解决方案的市场领导地位。 2022年8月， 山东淄博高新区与悠声科技USound、惠友资本共建微系统IDM及产业集群项目签约仪式在山东举行，该项目将USound中国总部落地淄博高新区、依托TDK新科实业世界顶尖的压电技术、USound 世界领先的MEMS扬声器技术，致力打造全流程的MEMS扬声器生产线和国内一流的微系统产业集群填补行业空白 。 主要产品MEMS 扬声器MEMS扬声器驱动PAMEMS扬声器模组
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MEMS RIGHT 苏州微纳苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力 平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。 自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器 质量管理体系；ISO14001 环境管理体系；ISO45001 职业健康和安全管理体系；IATF16949:2016车用质量管理体系认证工艺设备光刻设备，刻蚀设备，薄膜设备，扩散设备案例铌酸锂薄膜器件，PZT压电薄膜 ，硅麦克风，温度/流量/气体传感器，磁传感器，压力传感器，喷墨打印头，微振镜分公司苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司 是国内首个商业化运作的6英寸纯MEMS器件研发、中试和批量化生产基地
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ICNano 芯云纳米芯云纳米技术（苏州）有限公司 是一家专注于微机电系统（MEMS）器件设计与加工的高科技公司，公司位于具有完整的微纳制造上下游配套产业链和产业集聚氛围的苏州工业园区。 团队成员来自于国际知名半导体公司德州仪器（TI)和超微半导体（AMD）等，以及中科院等知名研究所，在MEMS领域拥有十余年的技术积累和储备，掌握数十项芯片开发、工艺设计、微纳制造以及封装测试技术，包括温湿度传感器 、气体传感器、红外传感器、流量传感器、压力传感器、压电声学器件及生物类MEMS器件等。 芯云纳米具有强大的MEMS器件制造和生产能力，加工方法和设备成熟稳定，提供定制化的产品开发和验证，包含产品设计、器件仿真和工艺单步和全流程验证，同时为客户提供小批量产品中试和量产，并提供相应的封装测试服务等系统解决方案 ，真正实现MEMS一站式服务。
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