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Humb Sensing 蜂鸟传感广州蜂鸟传感科技有限公司 专注于压电MEMS传感器与执行器技术,是国内压电MEMS领域的创新者和开拓者。 公司主要研发新一代传感器芯片、模组与系统解决方案,涉及超声波传感器、流量传感器、发声器件以及超声波换能器等系列器件、模组与系统解决方案。 团队已实现了压电MEMS传感器芯片设计、先进工艺、封装控制等多项关键技术突破,并围绕压电MEMS器件的应用开展模块三维集成、长期稳定性提升等研究工作。 在国内打破了PZT薄膜材料与MEMS技术融合的设计、工艺与封测瓶颈,所获得的多种压电MEMS传感器器件/模块性能指标国际领先,并构建出压电MEMS器件特色技术链条,着力推进压电 MEMS器件设计、制备、 核心优势核心优势一掌握超声波传感器芯片--封装--模组定制化设计技术面向应用,进行压电MEMS超声波传感器模组定制面向具体应用,芯片--封装--模组层级参数的分解基于平台技术,进行应用领域的拓展核心优势二掌握量产验证
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Rofs Microsystem 诺思微系统诺思(天津)微系统有限公司 成立于2011年,总部设于天津,总注册资本人民币3亿元,是中国首家FBAR生产企业,公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售,核心产品具有国际领先水平 MEMS产线(IDM)-4 / 6英寸天津工厂位于天津市经济技术开发区,总投资7.5亿元人民币,诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。 “制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动,针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求,对实现晶圆级硅基MEMS 压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面,有重要意义。 2021年8月完成4亿元融资,预计在一年内全面加速产能释放,达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。
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Huishi 慧石科技公司拥有世界一流的传感器核心技术和高素质的研发及管理人才,公司研发的高温MEMS芯片、高精度压力传感器、超小型传感器、超高压力传感器、超高温加速度传感器、超高转速传感器、大冲击传感器等多项技术和产品填补国内空白 主要产品加速度传感器MEMS电容型加速度计,微型压电加速度传感器,极端环境压电加速度传感器,常规电荷型压电加速度传感器,电压型压电加速度传感器,经济型电压型压电加速度传感器,微型电压型压电加速度传感器, 三轴加速度传感器,水下加速度传感器冲击传感器噪声传感器动态传感器动态力传感器,动态压力传感器传感器线缆及配件加速度传感器电缆及接头,加速度传感器配件电荷转换器在线电荷转换器,多通道电荷放大器MEMS压力传感器温度传感器磁电传感器转速传感器
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Silan 士兰微公司的技术与产品涵盖了消费类产品的众多领域,在多个技术领域保持了国内领先的地位,如绿色电源芯片技术、MEMS传感器技术、LED照明和屏显技术、高压智能功率模块技术、第三代功率半导体器件技术、数字音视频技术等 ASIC产品:包括信号链(逻辑&电平转换、开关电路、放大器&比较器、隔离电路、接口),电源管理(线性稳压电路、双极DCDC稳压电路、双极PWM控制器、达林顿驱动电路、基准电路)等。 自2010年开始,士兰微电子投入大量资金,通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发,在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力,并建立自己的MEMS封测生产线,初步走通了系列传感器的 目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富,有:MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。 士兰微是中国MEMS十强企业之一,据其2022上半年度报告披露,2022 年上半年,公司 MEMS 传感器产品的营业收入达到 1.5 亿元,较上年同期增加 7.8%。
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MEMSonics 敏声新技术公司以射频滤波器为拳头产品,同时覆盖压电式麦克风以及压电超声传感器芯片,致力于打造成一家集设计、生产和销售于一体的企业。公司具备完整的自主知识产权,已经注册百余项专利,建立了多维度多层次的专利壁垒。 2023年7月,武汉敏声与北京赛微电子合作共建的“敏声-赛莱克斯北京8英寸MEMS BAW滤波器联合产线”实现量产,产能每月2000片,已拿到客户批量订单。 主要产品射频滤波器芯片电式麦克风芯片压电超声传感器芯片
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昆博智能 / 昆博研究院近年来,昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司凭借其专业的技术水平和研发实力,牵头起草制定了国家标准《微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》,并牵头成立了MEMS高端装备应用标准化研究组 采用温度与压力集成芯片的方式实现单芯片多功能同时测量温度和压力信息,复合压力传感器芯片测温元件可以准确反映压力传感器工作环境温度,从而为温度补偿提供准确参考依据,提高传感器精度,同时MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片能够降低传感器尺寸 本项目研究制定关于MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片通用技术标准,对适用于航空航天、工业、能源开发等领域的MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片基本性能要求及测试方法进行了规定。 昆山昆博智能感知产业技术研究院研制我国自主的MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片国家标准,将弥补我国该领域的标准空白,加快我国MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片研发、生产效率,降低产品成本,提高我国MEMS 硅压阻温压复合压力传感器芯片产品质量,引领国产MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片进入国际市场。
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ASAIR 奥松电子(简称IDM)企业,面向全国提供全方位服务的一站式MEMS特色芯片解决方案。 产业基地实力雄厚,深化合作,联合创新奥松电子拥有先进的MEMS半导体智能传感器特色芯片生产线,2021年启动建设国际先进、国内一流的8英寸MEMS特色芯片IDM产业基地,大幅度提升高端特色芯片的研发定制能力 ,是粤港澳大湾区先进的MEMS半导体芯片制造企业。 芯片解决方案MEMS产线布局奥松电子(IDM&代工)-6英寸奥松电子 成立于2003年,专注于MEMS半导体工艺技术,是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业,也是广东省 、车规级传感器可靠性检测中心、产学研科研中心及奥松半导体研发办公大楼等建设项目,技术能力覆盖CMOS+MEMS特色工艺,可全面开展表面硅、体硅以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产;具有MEMS压阻、压电
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Niell 乃尔电子乃尔自主研制并拥有特种压电陶瓷配方及MEMS芯片设计等核心技术能力,专注于研制高可靠性及高性能压电类传感器(超高温、超宽频、超轻质量的振动和冲击传感器)、高精度高可靠的MEMS芯片类传感器(变电容加速度
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EleSensor 芯淮电子安徽芯淮电子有限公司 成立于2019年05月29日,注册资本2000万元,拥有一批高层次的人才队伍,核心研发成员来自上海交通大学、中国科学院、LG、希捷半导体等国内外知名院校和企业,拥有10年以上的MEMS 芯淮电子与上海交通大学、中国科学院等多个知名院校建立联合实验室,以微系统(MEMS)重点领域为突破核心,致力于传感器芯片研究和行业应用开发,建设气体传感器共性技术研发中心、先进封装测试平台、MEMS工程化制造平台 芯淮电子建立了完整的研发、生产及质量管理体系,依托自主知识产权的传感技术、智能硬件技术、物联网技术、MEMS制造技术,结合人工智能算法为行业客户提供MEMS气体传感器、硅通孔芯片系列产品方案。 企业文化愿景成为国际领先的MEMS传感器芯片设计、加工与集成公司! 解决方案行业应用气体检测,压力仪器,仪表仪器,桥梁安全监测,矿山安全监测,地质灾害监测,边坡状态监测,智能家居应用仪表仪器电子水尺,雷达液位计,地下管网液位监测,翻斗式雨量计,倾角计,倾角监测仪,,压电式加速度计
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ICNano 芯云纳米芯云纳米技术(苏州)有限公司 是一家专注于微机电系统(MEMS)器件设计与加工的高科技公司,公司位于具有完整的微纳制造上下游配套产业链和产业集聚氛围的苏州工业园区。 团队成员来自于国际知名半导体公司德州仪器(TI)和超微半导体(AMD)等,以及中科院等知名研究所,在MEMS领域拥有十余年的技术积累和储备,掌握数十项芯片开发、工艺设计、微纳制造以及封装测试技术,包括温湿度传感器 、气体传感器、红外传感器、流量传感器、压力传感器、压电声学器件及生物类MEMS器件等。 芯云纳米具有强大的MEMS器件制造和生产能力,加工方法和设备成熟稳定,提供定制化的产品开发和验证,包含产品设计、器件仿真和工艺单步和全流程验证,同时为客户提供小批量产品中试和量产,并提供相应的封装测试服务等系统解决方案 ,真正实现MEMS一站式服务。

