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上海工研院上海微技术工业研究院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台 通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发，为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。 上海工研院于2017年建成全国首条8英寸研发中试线，洁净室面积近5000平方米，硬件投入超10亿元，拥有主流设备150多台，可提供智能传感器、硅基光子学、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为产品设计公司提供高效的工艺研发和中试服务 研发中试线是上海工研院高效运转的“发动机”。 2023年平台发布了基于90nm工艺节点的 SOI PDK，核心器件库性能达到国际主流水平。平台提供光收发、光传感等多种类型硅光芯片的研发和小批量流片服务。
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河南豫芯智能传感器河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线）-8英寸据河南省公布的《2023年河南省重点建设项目名单》最新消息显示，《郑州高新智能传感器产业基地项目（原MEMS中试平台项目）》列入重点建设名单中，属新一代信息技术在建重点项目 ，总建筑面积约6万平方米，主要建设河南省智能传感器MEMS研发中试平台所需物理空间，包括测试楼、主厂房、动力中心、危废品库、硅烷站、氢气站、化学品库及配套用房、设施。 河南省智能传感器MEMS中试平台落户郑州高新区的中国（郑州）智能传感谷，于2022年8月动工建设。 该项目围绕智能传感器的设计、制造、封测和应用等全产业链各环节布局，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台。
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MEMS RIGHT 苏州微纳苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力 平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。 ，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产30000圆片的批量生产能力。 平台目前出货量排名全国MEMS代工厂前三，已服务110多家企业、350多颗产品，填补国内多个自主器件空白，部分产品世界领先，成为对中国MEMS产业支撑最大的产线，并由此积累了丰富的经验和专利。 为进一步提升支撑产业的能力，平台将配合国家三代半创新中心建设，进行六寸线三代半升级及新建8寸产线，成为国内领先的MEMS、三代半综合中试量产平台，支撑我国5G通讯、电子电力、智能传感、激光雷达、3D成像及
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国家智能传感器创新中心创新中心依托上海芯物科技有限公司，采用“平台+联盟”的方式，通过构建产业生态圈，面向智能传感器设计、材料、制造、设备、封装、测试等产业链上的大中小型企业提供关键共性技术支撑平台。 国家智能传感器创新中心以应用为导向，通过建立传感器新材料、新工艺、新器件结构等的研发平台、工艺制造平台、测试平台、设计服务平台、工程服务平台，研发新一代传感器的材料、制造工艺、封装、器件集成等方面的核心技术 MEMS产线（中试线）-12英寸2021年6月30日，由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。 该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，
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Silex 赛莱克斯深圳大湾区MEMS中试线（中试线）-8英寸2022年11月，在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上，已敲定总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区。 该项目规划建设一条约产能3000片的8吋MEMS中试线，并具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台。同时，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。 该项目也是深圳首条MEMS中试线，2023年8月最新消息，赛微电子旗下全资子公司赛莱克斯国际与深圳市重大产业投资集团有限公司关联主体等联合，通过投资设立 赛莱克斯深圳，在深圳投资建设MEMS项目，深圳大湾区 MEMS中试线走向落地，并由赛微电子主导建设。 相关信息参看《深圳首条MEMS中试线落地！》。
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淄博高新技术产业开发区MEMS研究院先后获得“教育部技术发明一等奖”和“山东省首批新型研发机构”，研发了继电器、压力计、高温高精度薄膜温度传感器和芯片级原子钟等 MEMS 器件；已建成了国内首条具有“国际先进水平”的 6 英寸硅基MEMS中试代工平台 提供 MEMS 产品工艺开发、版图设计、中试代工、分析测试等专业技术服务 ; 研制量程 0~1MPa 压阻式压力计工作温度 -55℃ ~150℃，满量程输出 70~80mV（5V 供电），线性度优于 ± 研究院设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等分中心和分实验室，提供MEMS器件小试、中试 MEMS研究院投资建设了国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
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SZTU 微纳加工中心深圳技术大学半导体微纳加工中心 是集产、学、研于一体的加工平台，作为广东省深圳市的公共服务平台，深技大微纳加工平台既为大学和科研院所的科学研究提供服务，也为企业技术研发和中试提供全方位的开放服务，包括以下开放模式 申请人通过申请可选择，经平台工程师培训获得上岗资格后独立使用平台设备，或由平台工程师代工。2. 技术开放：微纳加工中心可以提供全方位的技术支持，以促进微纳加工技术进步，降低使用者的技术研发成本。 微纳加⼯中⼼⽀持最⼩到8nm制程的⼯艺研发，以及350nm及以上制程的化合物光电器件中试验证。平台设⽴专⽤产业化区和拓展区，强化服务企业产品研发和⼩量试产功能，以及国产半导体材料及装备验证。 平台特色平台服务，光刻工艺设备和键合工艺设备，薄膜工艺设备，离子注入/退火设备和干法刻蚀工艺设备，湿法刻蚀工艺和后道工艺设备，测量表征设备，外延工艺设备，微纳加工中心工艺模块
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国高微系统 / 博华电子公司主要服务模式（1）中试工艺研发、产品委托研发（2）6英寸MEMS加工（含部分封装）服务（3）以技术平台支撑的知识产权运营（4）产品检测（5）代工工艺转移（6）设备租赁、场地租赁（7）工艺技术培训主要工艺加工 标准化厂房MEMS中试代工平台等部分。园区重点引进国内外MEMS创业团队，产品公司，封装测试公司，致力打造涵盖微机电系统器件设计，中试代工，封装测试，规模量产的全产业链的一流产业园区。 MEMS产线淄博高新区6英寸中试线 该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。 是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
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成都岷山微电子先进封测技术研究院依托平台为中科院微电子研究所封装研究中心。研究内容：围绕微电子先进封测技术方向，突破高密度高可靠性以及射频SiP等技术瓶颈，打造线焊、倒装焊、可靠性与失效分析为一体的先进封装中试平台及产线。
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NANO POLIS 苏州纳米城纳米技术产业运营商苏州纳米科技发展有限公司 是苏州工业园区直属国有企业，成立于2010年9月1日，是推动苏州工业园区纳米技术应用产业发展的主力军，主营业务覆盖产业园运营、股权投资、技术研发、公共平台、知识产权等板块 此外，苏州纳米科技发展有限公司在股权投资板块，设立启纳创投、协立创投、融风科贷、同合产业基金等投资主体，构建了覆盖创新企业种子期、起步期、成长期、成熟期等阶段的产业投资体系；在公共平台板块，建设中国首个全开放 、市场化和工业级MEMS产业中试平台——6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台；在知识产权板块，依托苏州工业园区知识产权运营与服务中心，打造了长三角地区唯一一家聚焦细分产业领域的国家专利运营试点单位。 MEMS产线（中试线）-6英寸苏州纳米城6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。 苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器
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西安光机所获批建设市级秦创原创新驱动平台2022-06-09
