卡尔蔡司扩建DUV光刻设备光学元件工厂

创芯人 20230410

  • 半导体制造
  • 光学元件

据外媒报道，近日，半导体光刻设备制造光学元件的卡尔蔡司半导体制造技术公司（以下简称蔡司SMT）将在其位于德国黑森州韦茨拉尔的工厂开始建设新的光学元件工厂，用于生产DUV（深紫外）光刻设备，以应对现有工厂已达到产能极限。

消息显示，新工厂的总生产面积将超过12,000平方米，将额外创造150个工作岗位。该工厂计划于2025年完工，将为最新的 DUV 光刻设备制造和开发光学元件。

公开资料显示，ZEISS SMT 是德国领先的光学设备制造商 Carl Zeiss 的子公司，为半导体光刻设备提供光学元件和光掩模系统以及过程控制解决方案。

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