铠欣半导体获投资,系外延设备核心零部件供应商

MEMS中文网 20230528

  • 半导体设备
  • CVD技术

集微网消息,近日,苏州铠欣半导体科技有限公司(以下简称“铠欣半导体”)获得新一轮投资,投资方包括乾融控股旗下乾融园丰基金、瑞芯投资、邦明龙投、北大元培基金、园区科创基金等。

据悉,铠欣半导体专注于半导体设备碳化硅陶瓷零部件的研发、制造与服务,拥有完全自主知识产权的CVD核心技术,产品已在多家Si半导体、SiC、GaN等第三代半导体及LED光电等领域标杆客户实现量产供应。

铠欣半导体的核心产品是半导体外延设备CVD碳化硅石墨基座及热场整体解决方案,属于半导体外延设备的核心零部件。此外,该公司还在烧结碳化硅陶瓷、块体碳化硅陶瓷等高端陶瓷零部件领域有丰富的技术储备。

2022年5月,苏州工业园区举行重点项目集中签约活动,铠欣半导体材料研发及运营总部项目位列其中。(校对/冯一文)

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