电科装备实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖
据科技日报消息，中国电子科技集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称：电科装备）已实现离子注入装备28nm工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
据悉，电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局。
作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业，电科装备已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，产品涵盖逻辑、存储、功率器件、传感器等工艺器件，设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片量超2000万片，有力提升我国产业链供应链韧性和安全水平。
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