2024相约上海！第十三届微光刻技术交流会在青岛落幕

共读科技 20230830

由分会秘书长陈宝钦主持，第十三届承办单位青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长冀然将会牌交接到第十四届承办单位上海高等研究院X射线光学技术实验室副主任吴衍青研究员手中。2024年，微光刻人将相约上海。

仪器信息网讯 8月30日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第四届年会暨第十三届微光刻技术交流会在青岛顺利落幕。本届会议由全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会秘书处和青岛市城阳区人民政府主办，青岛天仁微纳科技有限责任公司承办。继大会8月29日进行开幕式及半导体设备和材料及先进光刻技术交流会后，30日大会召开了2023年度的微光刻标准化分技术委员会年会和2023-2024两届承办方接牌仪式，会议由上海交通大学程秀兰研究员和全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦分别主持。

上海交通大学程秀兰研究员主持

汇报人：青岛天仁微纳科技有限责任公司董征

汇报内容：《纳米压印光刻技术产业现状及标准化探讨》

纳米压印光刻技术NIL（Nanoinprint Lithography）类似于古代印章，是一种图形转移和复制技术。青岛天仁微纳科技有限责任公司“纳米压印国家标准”的项目负责人董征向与会专家介绍了纳米压印光刻技术产业现状、纳米压印光刻行业标准化组织、纳米压印光刻技术标准体系初探及天仁微纳公司等情况。

天仁微纳依据综合标准化要求，结合国内外纳米压印光刻技术产业现状梳理已有的技术领域和相关发展方向，初步搭建纳米压印光刻技术标准体系框架，内容涵盖了基础共性标准、压印模具标准压印材料标准、压印设备标准、压印工艺标准、测量检验与试验方法标准和行业应用标准等7个方面。

与会专家就标准化工作热烈讨论

微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦主持交流

汇报结束后，与会专家就纳米压印标准的筹建工作等情况进行了深入探讨和交流，并就标准化提出建议。交流结束后，董征向与会专家介绍了纳米压印国家标准制定工作组筹建情况，关于“纳米压印”国家标准申请立项书草案以及“纳米压印国家标准”初稿草案。纳米压印国家标准制定工作组在会议上也正式向广大从事纳米压印相关工作的专家学者发出邀请，诚邀加入并参与到标准化工作中。