晶体管级的堆叠!下一代晶体管技术:CFET,将全面替代GAA!英特尔和台积电已走在最前列!

感传媒 20231005

据eeNewsEurope报道,英特尔和台积电将在即将召开的国际电子器件会议(IEDM)上公布他们在垂直堆叠互补场效应晶体管(CFET)方面取得的进展。CFET 很可能在未来十年的某个时候接替全栅极 (GAA) 晶体管(GAA 晶体管本身尚未占领市场)。

CFET 的概念最初是由 IMEC (比利时微电子研究中心)于 2018 年提出的,它涉及将 n 型和 p 型晶体管层叠在一起。虽然早期的研究大多源自学术界,但英特尔和台积电等商业公司现已涉足这一领域,并正在积极探索这种下一代晶体管。

英特尔

英特尔的研究人员构建了一个单片 3D CFET,其中包含三个 n-FET 纳米带,层叠在三个 p-FET 纳米带之上,保持 30nm 的垂直间隙。英特尔公司在题为 "“采用电源通孔和直接背面器件触点的 60 纳米栅极间距的堆叠式 CMOS 反相器演示”的演讲中将介绍利用 60 纳米栅极间距 CFET 的功能性反相器测试电路。该设计还采用了垂直分层双源漏外延和双金属栅极堆栈,并结合了英特尔的 PowerVia 背面电源传输技术。


台积电

为了不被竞争对手超越,台积电将介绍其实践 CFET 的方法,该方法专为逻辑技术而定制,具有 48 纳米栅极间距。台积电的设计强调了在 p 型晶体管之上叠加放置的 n 型纳米片晶体管,具有跨越六个数量级的显著开/关电流比。

台积电表示,该公司的晶体管已经证明了它们的耐用性,90%以上的晶体管成功经受住了测试。虽然台积电承认,要充分利用CFET技术的能力,还有更多的功能需要吸收,但正在进行的工作是实现这一目标的关键一步。

下一代晶体管

CFET 给晶体管设计带来了显著转变,其垂直堆叠允许两个晶体管安装在一个晶体管的占地面积内,从而增加芯片上的晶体管密度。这种设计不仅为提高空间效率铺平了道路,而且还促进了更精简的CMOS逻辑电路布局,有利于提高设计效率。

此外,CFET 的固有结构可能会减少寄生效应,从而潜在地提高性能和功率效率。它们的适应性设计能力(例如平衡 NMOS 和 PMOS 通道变化的能力)与背面供电等创新相结合,进一步简化了制造工艺,使 CFET 成为晶体管技术领域的一个有前景的发展。

英特尔和台积电的努力凸显了 CFET 技术对半导体行业未来的重要性。

来源:由EETOP编译整理自tomshardware


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