锦正茂高低温探针台T8-LY100的技术指标

高低温探针台T8-LY100能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-420K高低温测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

技术指标：

1.真空腔体约直径260mm，

2.带有4英寸高透射观察窗，材质熔融石英

3.样品载台直径：(50mm)平整度<5微米

4.样品台直径：50mm

5.移动范围：±25mm

6.温度范围：80K-420K，控温精度：0.1-0.5K

7.制冷方式：液氮

8· X-Y-Z行程范围：±25mm*±25mm*0-12.5mm线性运动，位移精度：1um

9· 预留光纤接入口做光响应测试

10· 预留四个探针座的接口

11· 探针长度38mm，直径0.5mm，针尖直径1um

12· 两套CCD相机（能看清1-2um）

13·耦合一套四轴应变装置（定制）

14·三同轴射频接口：4只，外接三同轴连接线双向公头，长度 2米

15. 配50升液氮罐输液管

16. 真空抽口KF50

17.重量：75kg

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