总投资9.3亿元，拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目封顶

人人懂点高科技 20240429

  • 集成电路产业

据上海房地产闵宏集团官方微信报道，4月25日，拓荆科技(上海)半导体先进工艺设备研发和工业化项目主钢结构全面完成，喜封金顶。

据悉，拓荆科技(上海)有限公司新建的半导体先进工艺设备研发产业化项目研发产业化基地，总投资9.3亿元。建筑面积约10万元㎡，开发先进的ALD薄膜技术和高产能设备平台，实现以临港为中心客户群所需的半导体设备产业化。

拓荆上海曾表示，项目建成后，将更好地满足临港客户的产品定制需求，加强以临港为中心的公司产品形成，形成覆盖上海及周边半导体客户制造商的产业形式。以市场需求为导向，开展自主研发，突破核心技术，形成100%的自主知识产权产品，实施产业化，为新区集成电路产业的发展做出贡献。

数据显示，拓荆科技(上海)有限公司成立于2020年12月，是拓荆科技有限公司在临港设立的全资子公司。主要从事高端集成电路膜设备的研发、生产和销售。公司专注于半导体膜沉积设备，是国内专门生产的PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备龙头企业。

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