HCP系列真空高低温探针台：精密科研测试的关键设备
天恒科仪-小盛
在半导体器件、量子材料、光电子学及低温物理等前沿研究领域，高精度、宽温域的环境模拟与电学特性测试是实验成功的关键。Horizon Technology推出的HCP系列真空高低温探针台（HCP-C-2/4），凭借其卓越的温控能力、真空性能及模块化设计，为科研人员提供了从极低温（4.2K）至高温（1700K）的全温域测试解决方案。本文基于官方技术参数，对其核心性能进行系统性解析。
产品概述：
HCP系列探针台由天恒科仪（Horizon Technology）研发，包含HCP-C-2与HCP-C-4两种型号，专为极端环境下的电学、光学及热学测量设计。其核心优势在于液氮/压缩制冷双循环系统、高精度PID控温技术以及兼容多通道信号加载与测量的模块化架构，可满足从基础研究到工业级器件验证的多样化需求。
技术参数详解
1. 基础结构与真空性能
外形尺寸：800mm（宽）×800mm（深）×1300mm（高），含一体式防震台，整体重量分别为100kg（HCP-C-2）与150kg（HCP-C-4）。
真空腔体：容积25L，耐压强度达1×107 mbar（1×105 Pa），配备100mm高速光红外隔热熔融石英视窗，支持原位光学观测。
防辐射屏蔽：200mm无氧铜层，有效抑制热辐射干扰。
2. 温控系统
制冷原理：HCP-C-2采用液氮开循环制冷，低温范围80K（-193℃）至10K（-263℃）；HCP-C-4采用电驱动压缩闭循环制冷，最低温度达4.2K（-269℃）。
高温范围：两型号均支持300K（+27℃）至1700K（+1427℃）的高温测试，控温方式可选单通道、双通道或四通道PID调节，精度±0.1K。
3. 样品座与探针系统
样品座：配置Φ1英寸/2英寸（HCP-C-4）或Φ2英寸/4英寸（HCP-C-2）无氧铜镀金浮动平台，支持背电极信号加载与测量，确保低接触电阻与热稳定性。
探针调节：X-Y-Z轴行程75mm×50mm×50mm，精度1微米；探针臂采用真空波纹管与线性微调结构，材料为防腐氧化不锈钢，适应高频与大功率测试需求。
4. 显微观测与信号测量
显微镜：三轴调节行程100mm×100mm×50mm，精度1微米，支持180X至1000X放大，分辨率达1μm。
电学测量：覆盖直流至1100GHz频段，电流灵敏度分别为10pA（同轴）、100fA（三轴）及10fA（开尔文配置），支持10kV高压与1500A大电流测试。
光学兼容性：紫外至红外波段（200nm~25μm）透射/反射测量，适配光电器件表征。
5. 扩展功能
外加磁场：支持±1T磁场环境，适用于自旋电子学与超导材料研究。
应用领域：
HCP系列探针台可广泛应用于：
1. 半导体器件：宽禁带材料（GaN、SiC）的高温可靠性测试。
2. 量子计算：超导量子比特的低温电学特性表征。
3. 光电子学：光电探测器与激光器件的原位光谱响应分析。
4. 基础物理：拓扑绝缘体、二维材料等新奇量子态研究。
HCP系列真空高低温探针台通过集成液氮/压缩双制冷系统、高精度控温模块及多物理场兼容设计，为极端环境下的科研测试提供了标准化平台。其技术参数严格对标国际主流设备，同时支持定制化扩展（如更高磁场或光学接口），有望成为材料科学、微电子学及凝聚态物理领域的关键工具。
天恒科仪（Horizon Technology）
官网：www.horizonthk.com
*注：本文所述技术参数均基于厂商公开资料，实际性能可能因配置与使用条件有所差异。建议用户结合具体实验需求咨询技术团队。
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