半导体参数/曲线测试系统:实现多参数、跨尺度的电学表征

天恒科仪-小盛 20251215

  • 阻抗分析

半导体器件物理、先进材料及电化学等前沿研究领域,科研人员常面临一项共性挑战:如何对同一器件或材料实现跨时间尺度、跨电学模态的精准、关联性表征。


针对这一需求,天恒科仪 半导体参数/曲线测试系统 提供了一个高度集成的解决方案。该系统并非简单叠加仪器功能,而是通过统一的硬件平台与软件架构,将高精度直流源表(SMU)与宽频阻抗分析仪(LCR) 的核心能力深度融合,形成了一个协同工作的测量中枢。

二、核心优势

电压/电流源 I-V 测量模式

  • 支持 IV/VI 测试,适用于三电极CV、LSV等电化学测试;
  • 具备 V-t/I-t/R-t/P-t 实时监测,可用于传感器与电化学过程分析;
  • 提供 IVRP-t 缓存测试,支持微秒级高速采样;
  • 集成 太阳能电池 I-V 测试,自动计算开路电压、短路电流、填充因子与转换效率;

支持多种信号输出:方波、脉冲、阶梯、正弦及自定义波形,适用于忆阻器、晶体管等器件测试。


阻抗/偏压测量模式

  • 可测量电容、电感、阻抗、电导率、介电常数、Q因子等交流参数;
  • 支持频率响应分析(C-F)与偏压扫描测试(C-V);
  • 配备高精度LCR测量功能,基本精度达0.05%,频率范围DC~8 MHz。

传感专家

三、基础参数

传感专家

1.宽范围输出:±200 V电压与±10 A脉冲电流,满足从微纳器件到功率元件的测试。

2.极限灵敏度:0.1 fA电流与5 μV电压分辨率,支持超低漏电与微弱信号检测。

3.快速瞬态能力:脉冲宽度可至1 μs,适于研究开关动态与瞬态响应。

4.宽频阻抗分析:阻抗覆盖100 mΩ–100 MΩ,频率跨DC–8 MHz,支持从材料电阻到介电谱的完整表征。

5.便捷交互:5.7英寸触屏实现参数快速设置与数据实时预览


四、应用场景

传感专家

1. 半导体器件特性分析

  • 场效应管(FET)输出/转移特性测试;
  • 双极型晶体管(BJT)输入/输出特性分析;
  • 忆阻器阻变行为与疲劳测试。

2. 新能源材料研究

  • 太阳能电池I-V特性与效率评估;
  • 电化学储能器件(如超级电容器)的CV、EIS测试。

3. 光电与传感材料

  • 电致发光器件(如LED)的IVL(电流-电压-光强)关联测试;
  • 传感器实时响应监测(I-t/V-t模式)。

4. 神经形态计算与忆阻器研究

  • 支持脉冲序列输出,模拟突触“学习-遗忘”行为;
  • 可与AFG31000系列函数发生器联用,实现纳秒级脉冲测试。


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