一文读懂共振频率调整的概念

恩硕科技-李总 20250407

  • MEMS传感器

首先,我们解释了通过电调刚度来实现共振频率调谐的概念和结构。在具有质量m和刚度k的弹簧-质量系统中,共振频率由公式给出。为了实现质量m的小,刚度k必须非常小。我们通过如图1和图2所示的正机械刚度kM和负电刚度kE的组合来实现这个刚度k。通过使用梳状致动器产生引力静电力来获得负电刚度kE。刚度kE可以通过电压VE来调节。这种刚度的开环调节方法在文献[4]中描述。

图1. 可电调刚度的示意图。总刚度k由机械刚度kM和电刚度kE之和给出。电刚度kE可以通过电压VE改变。

图2.对应于kM、kE和k=kM+kE的势能U。由于kM > 0,kE < 0且kE是可调的,因此总刚度k可以变得很小且可调。

图3. 偏离共振频率调谐的概念。为了保持共振频率,在频率fd处测量振幅A并进行反馈,使A成为目标值AT。

通常通过监测幅值最大化的频率来确定谐振频率。但在本案例中,由于很小(1 Hz),监测幅值并对kE进行反馈需要很长时间。长的响应时间会加剧对环境变化(如温度变化)的响应。为了使小的也能最小化响应时间,我们在一个更高的频率fd(≫ )下进行幅度监测。即如图3所示,在fd处测量幅度A,并将系统闭环控制,使A达到目标值AT。

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