天恒科仪推出全新HTM系列镭射分析探针台：精密检测的科技革新
天恒科仪-小盛
在半导体、材料科学及微电子领域，高精度检测设备的性能直接影响研发与生产的效率。天恒科仪（Horizon Technology）推出的HTM-600L/800L/1200L镭射分析探针台，凭借其多波段激光辐射系统、超精密运动控制及模块化设计，为科研与工业检测提供了全新的解决方案。
天恒科仪-镭射分析探针台
核心参数解析：
HTM系列包含三种型号（600L/800L/1200L），主要差异在于“样品台尺寸”与“调节行程”，满足不同规模样品的检测需求：
基础性能：
外形尺寸：宽度580mm（600L）至930mm（1200L），高度统一800mm，紧凑设计适配实验室环境。
重量：100kg（600L）至170kg（1200L），兼顾稳定性与移动灵活性。
激光波段：全系标配UV4（266nm）、UV3（355nm）、绿光（532nm）、红外（1064nm）四波段，支持多材料分析。
激光应用场景：
UV4/UV3：适用于聚酰亚胺（Polyimide）、氮化硅（Silicon Nitride）、旋涂玻璃（SOG）等材料的微加工与缺陷检测。
绿光：针对铜（Copper）、金（Gold）、多晶硅（Poly Silicon）等高反射金属材料的精准刻蚀与形貌分析。
红外：专用于铝（Aluminum）材料的深层结构探测。
样品台设计：
尺寸与材质：6英寸至12英寸抛光不锈钢/镀金台面，确保导电性与耐腐蚀性。
吸附与调节：真空吸附固定样品，配合X-Y轴气浮定位（精度1μm）Z轴升降（0-10mm，精度1μm）及多角度微调（水平±5°、垂直±20°），实现复杂样品的全方位观测。
显微成像系统：
光学倍率：500X/1000X/2000X，覆盖从宏观到纳米级的观测需求。
分辨率：最高0.5μm，搭配NUV/Visible/NIR多光谱镜头及1920x1080P工业相机，确保高清图像采集与实时分析。
技术创新：精密与效率的双重突破
气浮运动控制：
HTM系列采用线性无回差气浮导轨，X-Y轴行程最大达12英寸，快速定位的同时保持1μm级精度，显著缩短调试时间。
模块化兼容设计：
支持背电极信号加载与浮地悬空电学测试，可扩展连接IV/CV等电性分析设备，满足半导体器件特性表征需求。
智能安全防护：
Z轴气动升降速度可调，搭配30°倾角自动锁止功能，避免误操作导致的设备或样品损伤。
应用场景与用户定位
天恒科仪HTM系列镭射分析探针台适用于：
半导体制造：晶圆级缺陷检测、微电路修复。
材料研究：薄膜材料形貌分析、多层结构刻蚀。
高校与科研机构：微纳加工、光电器件开发等前沿领域。
高精度检测的新标杆
天恒科仪HTM系列镭射探针台通过多波段激光兼容性、亚微米级运动控制及智能化操作界面，重新定义了精密检测设备的性能标准。无论是工业用户还是科研团队，均可通过灵活选型（600L/800L/1200L）实现效率与精度的最大化平衡。
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