高精度定制化！天恒科仪平板探针台：测试领域的“全能选手”

在半导体制造、光电子研究等高精尖领域，测试设备的性能直接决定研发效率与产品良率。近日，Horizon Technology推出HTMP系列平板探针台，凭借其1μm级精度调节、全参数客制化设计及多场景兼容能力，成为行业关注的焦点。

这款设备如何实现“精准与灵活”的平衡？我们一探究竟！

核心技术亮点：精度与效率的双重突破

微米级定位系统：

X-Y-Z三轴调节：采用线性无回差气浮技术，行程50mm×50mm×50mm，精度达1μm，可快速定位且无机械磨损。

旋转与倾角调节：水平方向360°粗调±5°微调，垂直摆动±20°，满足复杂角度测试需求。

Z轴升降：气动升降行程50mm，速度可调，结合微调25mm行程，兼顾效率与精细操作。

光学与成像升级：

180X-1000X光学倍率，分辨率最高1μm，搭配1920×1080P工业相机，实时捕捉微观细节，确保测试结果可视化与可追溯性。

全场景测量兼容：

支持低频、高频、大功率、光波测试：电流精度低至10fA（开尔文结构），频率覆盖DC-1100GHz，功率承载10kV/1500A，光波范围涵盖紫外至红外，满足从芯片到光器件的多样化需求。

天恒科仪-平板探针台

定制化服务：灵活适配企业需求

HTMP系列主打“按需定制”，用户可根据实际场景选择：

尺寸与形态：圆形/方形可选，外型支持U型设计，材质采用防腐抛光不锈钢，平整度±3μm。

功能模块：真空吸附或悬空夹持方案，探针座最多支持8个，兼容4.5英寸探针卡，适配不同产线布局。

平板探针台-详细参数

应用场景：从实验室到工业产线

半导体封装测试：1.4μm点测定位精度，确保晶圆级测试稳定性。

光通信器件研发：红外光波检测能力，助力光模块性能验证。

功率器件量产：1500A大电流承载，满足IGBT、SiC器件的高压测试需求。

Horizon Technology HTMP平板探针台以“精度可控、功能全能、灵活定制”为核心竞争力，为微电子领域提供了高效可靠的测试解决方案。

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天恒科仪(苏州)光电技术有限公司总部位于中国苏州，是中国半导体精密分析技术及解决方案的研发商和生产商，以光电精密分析技术为核心的引领者，客户遍布多个国家和全国各地。通过持续的创新，天恒科仪致力成为中国半导体从科研到量产，提供专业测量解决方案和产品设备的供应商。

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