高精度粒子计数器在显示面板洁净室环境监控中的关键作用

通过实施洁净室环境颗粒物实时监测系统，可及时识别颗粒浓度超标风险，并采取针对性防控措施。该方案能有效降低空气悬浮颗粒沉降造成的基底表面污染，同时缓解静电吸附（ESA）导致的次生污染，从而系统性提升产品良率。

近年来，全球平板显示面板市场规模持续扩大，下游消费电子领域（电视、电脑、手机等）以及商用显示、车载显示、医疗显示等专业显示市场需求持续增长。为应对市场扩容需求，LCD和OLED面板制造过程中亟需提升良品率，以确保终端市场产品供应并维持市场竞争优势。

影响LCD与OLED质量的核心要素

在平板显示制造工艺中，颗粒污染与静电损伤是影响良率的两大关键因素。随着器件小型化与精密化发展，高密度集成电路的图形特征尺寸及表面沉积层厚度已缩至微米级，这使得生产工艺对颗粒污染更为敏感。基底表面颗粒沉积易引发点缺陷甚至线缺陷，直接导致产品良率下降。

静电污染问题同样不容忽视。材料间电子能级差异导致接触时发生电荷转移，由此产生的静电吸附（ESA）效应会强力吸附周围微粒，此类污染难以通过常规清洁手段去除。此外，静电放电（ESD）与电磁干扰引发的设备故障也会对制程稳定性造成威胁。

洁净室实时颗粒物监控解决方案的价值

四方光电在线激光尘埃粒子计数器技术优势

四方光电依托成熟的光散射技术，开发出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在线或便携型粒子计数器。该产品线具有以下核心优势：

☞采用工业级大功率线性激光源，确保>98%的粒子识别精度与计数效率

☞支持多通道定制化粒径分级（标准配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm）

☞连续稳定采样设计，MTBF（平均无故障时间）超过30,000小时

☞符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等国际标准，适用于百级至十万级洁净环境

☞该系列产品已通过RoHS认证，在TFT-LCD阵列制程、OLED蒸镀工艺等关键制程环节实现规模化应用

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