天恒科仪 | HCP系列真空高低温探针台:为精密科研赋能

天恒科仪-小盛 20250415

  • 真空环境
  • 探针台

天恒科仪HCP系列真空高低温探针台专为半导体、光电子、量子材料及新型器件研发设计。

通过紧凑型结构(宽800mm×深800mm×高1300mm)与模块化功能集成,实现从极低温(10K/-263℃)到高温(1700K/1427℃)的全温区精准控制,兼容高真空(1×10⁻⁷ mbar)、多维度电学/光学测量,为科研与工业提供高效、稳定的测试平台。

  • 天恒科仪-真空高低温探针台

核心技术参数与设计亮点

温控控制模块:

制冷模式:HCP-O-2/4采用液氮/液氦开循环制冷(最低10K),HCP-C-2/4采用闭循环电驱动压缩制冷(最低42K),满足不同实验成本与效率需求。

高温能力:双型号均支持300K(27℃)至1700K(1427℃)控温,覆盖材料相变、器件老化等测试场景。

控温精度:单/双/四通道PID控温,稳定性达±0.1K,确保实验重复性。


真空系统:

腔体性能:25L容积,极限真空度1×10⁻⁷ mbar(1×10⁻⁵ Pa),配备100mm高透光红外隔热视窗,支持光学实时观测。

防辐射设计:200mm无氧铜屏蔽层,有效抑制热辐射干扰。


机械与测量模块:

样品台:

兼容性:HCP-O-2/4支持Φ2/4英寸样品,HCP-C-2/4支持Φ1/2英寸样品,材质为无氧铜镀金,浮地悬空设计,避免接地噪声。

调节精度:X-Y-Z轴行程75mm×50mm×50mm,定位精度1微米,水平夹角调节±10°(精度0.01°),适配纳米级器件测试。


光学系统:

显微成像:180X/500X/1000X光学倍率,分辨率1μm,搭配1920×1080P工业相机,支持微观形貌实时记录。

扩展功能

磁场加载:支持±1T外加磁场,适用于自旋电子学、超导材料研究。

热沉设计:8级管三位一体热沉结构,优化样品温度均匀性。

多场景适配:真空波纹管+线性微调结构,探针座支持低频(10pA同轴精度)、高频(DC-1100GHz)、大功率(10kV/1500A)及光波(紫外-红外)测量,覆盖全频段需求。

典型应用场景

半导体器件可靠性测试:

高温老化实验:功率器件(SiC、GaN)在1700K下的IV特性与失效分析。

低温输运研究:量子点、二维材料在10K下的载流子迁移率与霍尔效应测量。


光电子材料表征

光谱响应:钙钛矿太阳能电池在紫外-红外波段的光电转换效率分析。

高频性能验证:微波滤波器、射频放大器的S参数测试(DC-1100GHz)。


前沿材料物性探索:

超导临界温度:铜氧化物超导体的电阻-温度(R-T)曲线测定。

拓扑绝缘体:表面态电导的量子化行为研究(需±1T磁场环境)。


  • 小型真空高低温探针台详细参数

产品差异化优势

紧凑高效:一体式防震台设计,重量100-150kg,占地面积仅0.64m²,适配实验室空间限制。

灵活配置:支持探针数量、真空视窗类型(如红外/可见光)、控温通道数等定制化需求。

数据精准:电学测量电流分辨率达100fA(三轴),光学定位精度1μm,满足高灵敏度实验要求。

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