天恒科仪真空高低温集成设备:极端环境测试的关键设备

天恒科仪-小盛 20250519

  • 超导材料研究

天恒科仪真空高低温探针台通过模块化设计,整合真空系统、温控模块与探针定位系统

为科研与工业测试材料与器件在极端温度(-193℃至+400℃)和真空环境(10⁻³ mbar)下的性能测试至关重要。提供可靠的环境控制与数据采集支持。

真空高低温探针台

核心技术亮点

宽温域与真空环境

温控范围:-193℃(液氮制冷)至+400℃(电阻加热),覆盖超导、半导体、高温器件的全温区测试需求。

真空度:10⁻³ mbar,有效隔绝水氧干扰,确保实验环境纯净。

协同优势:温控模块与真空系统联动,支持极端温度下的真空或惰性气体环境测试。


探针定位与信号采集

定位精度:XYZ三轴微调行程12mm×12mm×12mm,定位精度1.4μm(重复定位误差±0.5μm)。

信号保真:三同轴探针夹具漏电流<100fA(25℃),结合高纯度钨探针(耐温-200℃至+450℃),保障微弱信号的无损采集。


模块化与扩展兼容性

灵活配置:支持4组探针座同时工作,可扩展探针数量及夹具类型(如高频探针、微波探针)。

外接接口:预留电气接口与快拧接头,兼容光谱仪、锁相放大器等外部设备,满足光电同步测试需求。


安全性与操作稳定性

液氮安全设计:定制防泄漏管路与液氮流量控制器,避免低温操作风险。

温控稳定性:PID算法控制,温度波动±0.5℃,升降温速率≤5℃/min(液氮模式)。

液氮杜瓦瓶

高低温样品台


细配置参数

真空腔体系统:

腔体尺寸:400mm(长)×400mm(宽)×100mm(高),内部容积16L。

功能组件:

方形石英视窗(φ30mm):支持光学观测与光电同步测试。

快拧接口×4:用于连接真空泵、充气阀及外部设备。


温度控制系统;

控温精度:

温度均匀性±1℃(样品台表面),配备20L液氮杜瓦瓶与防结霜管路。


探针定位与信号采集系统:

样品固定:

25mm×25mm防滑样品台,适配氧化铝陶瓷绝缘片,采用弹片压持固定。


典型应用场景


半导体器件测试

电学性能分析:在宽温域(-193℃至+400℃)下测量晶体管IV特性、电容-电压(CV)曲线。

可靠性验证:高温环境(如+400℃)中评估功率器件的长期稳定性。


超导材料研究

临界温度测定:在液氮温区(-196℃)监测超导材料的电阻突变行为。

量子器件表征:真空环境下测试约瑟夫森结的量子相干性,减少环境干扰。


光电器件测试

高温光电响应:分析LED、激光器在高温环境下的发光效率衰减特性。

真空光电同步测试:通过石英视窗实现光电流与电信号的同步采集。


新能源材料研究

电极材料膨胀率测试:锂离子电池电极在高温(300℃)下的形变与阻抗分析。

催化剂活性研究:燃料电池催化剂在低温真空环境中的反应动力学测量。


设备选型与技术服务

定制化配置:可根据需求调整探针数量、温控范围及真空度等级。

技术支持:提供设备安装、操作培训及定期维护服务。

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